半導(dǎo)體工藝培訓(xùn)精選(九篇)

前言：一篇好文章的誕生，需要你不斷地搜集資料、整理思路，本站小編為你收集了豐富的半導(dǎo)體工藝培訓(xùn)主題范文，僅供參考，歡迎閱讀并收藏。

第1篇：半導(dǎo)體工藝培訓(xùn)范文

二年以上工作經(jīng)驗|男|24歲（1990年6月26日）

居住地：西安

電　話：187********（手機）

E-mail：

最近工作 [ 1年5月]

公　司：XXX微電子有限公司

行　業(yè)：計算機/互聯(lián)網(wǎng)/通信/電子

職　位：制程工程師

最高學(xué)歷

學(xué)　歷：本科

專　業(yè)：半導(dǎo)體信息

學(xué) 校：西安理工大學(xué)

自我評價

以認真的態(tài)度刻苦完成基礎(chǔ)知識的學(xué)習(xí)，成績良好，對于本專業(yè)的課程，特別是電子線路，微波技術(shù)，半導(dǎo)體物理學(xué)，微電子學(xué)，超大規(guī)模集成電路，ASIC，等課程充滿濃厚的興趣，成績優(yōu)秀，并在學(xué)習(xí)的過程中找到了適合自己的學(xué)習(xí)方法，具備了一定的學(xué)習(xí)能力和研究能力。

求職意向

到崗時間：一個月之內(nèi)

工作性質(zhì)：全職

希望行業(yè)：計算機/互聯(lián)網(wǎng)/通信/電子

目標地點：西安

期望月薪：面議/月

目標職能：制程工程師

工作經(jīng)驗

2013 /7—至今：XXX微電子有限公司[1年5個月]

所屬行業(yè)： 計算機/互聯(lián)網(wǎng)/通信/電子

制程部制程工程師

1、與客戶進行應(yīng)用技術(shù)交流，提供應(yīng)用技術(shù)方案與支持服務(wù)，提升服務(wù)品牌;

2、制定和編制激光切割、剪板、鋸、折彎等下料工藝，指導(dǎo)下料技術(shù)和提升下料制作質(zhì)量，并對下料操作員工進行技能知識培訓(xùn);

3、參與同步工程及工藝項目研究，優(yōu)化改善現(xiàn)場制程，協(xié)助確立項目跟進及新產(chǎn)品開發(fā)、應(yīng)用;

4、協(xié)調(diào)和服務(wù)建筑工地混凝土施工過程中有關(guān)技術(shù)、質(zhì)量等方面的工作，審核工地開盤資料及交工資料;

2012 /7—2013 /7：XXX理工大學(xué)[1年]

所屬行業(yè)： 軟件

課題組課題組組長

1. 獨立的熟練的完成了微波技術(shù)，電子線路，信息物理學(xué)等課程的試驗。

2. 微波通信系統(tǒng)的專題實驗－波導(dǎo)系統(tǒng)通信。

3. 在短學(xué)期中制作并調(diào)試了音頻功率放大器，進行了半導(dǎo)體工藝的實習(xí)。

4. 目前正在進行半導(dǎo)體工藝中薄層電阻測試儀的設(shè)計與制作的專題實驗。

教育經(jīng)歷

2007/9—2011 /6 西安理工大學(xué) 半導(dǎo)體信息 本科

證 書

2009/6 大學(xué)英語六級

2008/6 大學(xué)英語四級

第2篇：半導(dǎo)體工藝培訓(xùn)范文

電容－電壓(C-V)測試廣泛用于測量半導(dǎo)體參數(shù)，尤其是MOSCAP和MOSFET結(jié)構(gòu)。此外，利用C-V測量還可以對其他類型的半導(dǎo)體器件和工藝進行特征分析，包括雙極結(jié)型晶體管(8JT)、JFET、Ⅲ-V族化合物器件、光伏電池、MEMS器件、有機TFT顯示器。光電二極管、碳納米管(CNT)和多種其他半導(dǎo)體器件。

這類測量的基本特征非常適用于各種應(yīng)用和培訓(xùn)。大學(xué)的研究實驗室和半導(dǎo)體廠商利用這類測量評測新材料、新工藝，新器件和新電路。C-V測量對于產(chǎn)品和良率增強工程師也是極其重要的，他們負責提高工藝和器件的性能?？煽啃怨こ處熇眠@類測量評估材料供貨，監(jiān)測工藝參數(shù)，分析失效機制。

采用一定的方法、儀器和軟件，可以得到多種半導(dǎo)體器件和材料的參數(shù)。從評測外延生長的多晶開始，這些信息在整個生產(chǎn)鏈中都會用到，包括諸如平均摻雜濃度、摻雜分布和載流子壽命等參數(shù)。在圓片工藝中，C-V測量可用于分析柵氧厚度、柵氧電荷、游離子(雜質(zhì))和界面阱密度。在后續(xù)的工藝步驟中也會用到這類測量，例如光刻、刻蝕、清洗、電介質(zhì)和多晶硅沉積、金屬化等。當在圓片上完全制造出器件之后，在可靠性和基本器件測試過程中可以利用C-V測量對閾值電壓和其他一些參數(shù)進行特征分析，對器件性能進行建模。

半導(dǎo)體電容的物理特性

MOSCAP結(jié)構(gòu)是在半導(dǎo)體制造過程中形成的一種基本器件結(jié)構(gòu)(如圖1所示)。盡管這類器件可以用于真實電路中，但是人們通常將其作為一種測試結(jié)構(gòu)集成在制造工藝中。由于這種結(jié)構(gòu)比較簡單而且制造過程容易控制，因此它們是評測底層工藝的一種方便的方法。

圖1中的金屬/多晶層是電容的一極，二氧化硅是絕緣層。由于絕緣層下面的襯底是一種半導(dǎo)體材料，因此它本身并不是電容的另一極。實際上，其中的多數(shù)載流子是電容的另一極。物理上而言，電容C可以通過下列公式中的變量計算出來：

C=A(κ/d)，其中A是電容的面積，κ是絕緣體的介電常數(shù)，d是兩極的間距。

因此，A和κ越大，絕緣體厚度越薄，電容值就越高。通常而言，半導(dǎo)體電容的大小范圍從幾納法到幾皮法，甚至更小。

進行C-V測量時要在電容的兩極加載直流偏壓同時利用一個交流信號進行測量(如圖1所示)。通常情況下，這類測量使用的交流頻率范圍從10kHz～10MHz。所加載的偏壓作為直流電壓掃描驅(qū)動MOSCAP結(jié)構(gòu)從累積區(qū)進入耗盡區(qū)，然后進入反型區(qū)(如圖2所示)。

強大的直流偏壓導(dǎo)致襯底中的多數(shù)載流子在絕緣層界面附近累積。由于它們無法穿透絕緣層，因此當電荷積累在界面附近(即d為最小值)時電容在累積區(qū)達到最大值。如圖1所示。從C-V累積測量可以得到的一個基本參數(shù)就是二氧化硅的厚度tox。

當偏壓降低時，多數(shù)載流子從氧化層界面被排斥開，耗盡區(qū)形成。當偏壓反相時，電荷載流子遠離氧化層達到最大距離，電容達到最小值(即d為最大值)。根據(jù)這時的反型區(qū)電容，可以推算出多數(shù)載流子的數(shù)量。這一基本原理同樣適用于MOSFET晶體管，只是它們的物理結(jié)構(gòu)和摻雜更加復(fù)雜。

在偏壓掃過這三個區(qū)的過程中還可以得到多種其他參數(shù)，如圖2所示。利用不同的交流信號頻率可以得到其他細節(jié)信息。低頻可以揭示所謂的準靜態(tài)特征，而高頻測試則可以表現(xiàn)出動態(tài)性能。這兩類C-V測試通常都是需要的。

基本測試配置

圖3給出了基本C-V測量配置的框圖。由于C-V測量實際上是在交流頻率下進行的，因此待測器件(DUT)的電容可以根據(jù)下列公式計算得到：

CDUT=IDUT/2πfVac，其中IDUT是流過DUT的交流電流幅值，f是測試頻率，Vac是測得的交流電壓的幅值和相角。

換而言之，這種測試通過加載交流電壓然后測量產(chǎn)生的交流電流、交流電壓和它們之間的阻抗相角，最終測出DUT的交流阻抗。

這些測量考慮了與電容相關(guān)的串聯(lián)與并聯(lián)電阻，以及耗散因子(漏流)。圖4給出了這類測量可以測出的主要電路變量。

其中：Z=阻抗；D=耗散因子；θ=相角；R=電阻；X=電抗；G=電導(dǎo)

成功C-V測量的挑戰(zhàn)

C-V測試配置的框圖雖然看上去非常簡單，但是這種測試卻具有一定的挑戰(zhàn)。一般而言，測試人員在下面幾個方面會遇到麻煩：

?低電容測量(皮法和更小的值)

?C-V測試儀器與圓片器件的連接

?漏電容(高D)的測量

?利用硬件和軟件采集數(shù)據(jù)

?參數(shù)提取

克服這些挑戰(zhàn)需要仔細注意所用的技術(shù)以及合適的硬件和軟件。

低電容測量。如果C較小，那么DUT的交流響應(yīng)電流就較低，難以測量。但是，在較高的頻率下，DUT阻抗將減小，從而電流會增大，比較容易測量。半導(dǎo)體電容通常非常低(低于1pF)，低于很多LCR表的測量范圍。即使那些聲稱能夠測量這些小電容值的測試儀可能也會由于說明書晦澀難懂而很難判斷最終的測量精度。如果無法明確給出測試儀整個量程的精度，那么用戶需要因此而咨詢制造商。

高D(漏)電容。半導(dǎo)體電容除了C值較低之外，還具有泄漏的特點。當與電容并聯(lián)的等價電阻太低時就會出現(xiàn)這種情況。這會導(dǎo)致電阻性阻抗超過電容性阻抗，C值被噪聲所淹沒。對于具有超薄柵氧層的器件，D的值可能大于5。一般而言，隨著D的增大，電容測量的精度迅速下降，因此高D是實際使用電容計的一個限制因素。同樣，較高的頻率有助于解決這一問題。在較高的頻率下，電容性阻抗較低，使得電容電流較高，更容易進行測量。

C-V測量的互連。大多數(shù)測試環(huán)境下，DUT都是圓片上的一個測試結(jié)構(gòu)：它通過探測器、探針卡適配器和開關(guān)矩陣連接C-V測試儀。即使沒有開關(guān)，仍然也會使用探測器和大量的連線。在較高的頻率下，必須采用特殊的校正和補償技術(shù)。通常情況下，這是通過組合使用開路、短路或者校準器件來實現(xiàn)的。由于硬件，布線和補償技術(shù)非常復(fù)雜，因此經(jīng)常與C-V測試應(yīng)用工程師進行交流是一個好的辦法。他們擅長使用各種探測系統(tǒng)，克服各種互連問題。

獲取有用的數(shù)據(jù)。除了上述的精度問題，C-V數(shù)據(jù)采集中實際需要考慮的因素包括測試變量的儀器量程，參數(shù)提取軟件的多功能性和硬件的易用性。一般而言，C-V測試已僅限于約30V和10mA直流偏壓。但是，很多應(yīng)用，例如LDMOS結(jié)構(gòu)的特征分析、低k夾層電介質(zhì)、MEMS器件、有機TFT顯示器和光電二極管，需要在較高的電壓或電流下進行測試。對于這些應(yīng)用，需要單獨的高壓直流電源和電容計；高達400V的差分直流偏壓(0到士400V)和高達300mA的電流輸出是非常有用的。在C-V測試儀的Hl和LO端加載差分直流偏壓能夠更靈活地控制DUT內(nèi)的電場，這對于新型器件的研究和建模是非常有用的，例如納米級元件。

儀用軟件應(yīng)該包括無需用戶編程可直接使用的測試例程。這些應(yīng)該適用于大多數(shù)廣泛使用的器件工藝和測試技術(shù)，即本文前三段中提及的有關(guān)內(nèi)容。有些研究者可能會對一些不常見的測試感興趣，例如對MIM(金屬一絕緣體一金屬)型電容進行C-V和C-f掃描，測量圓片上的互連小電容，或者對雙端納米器件進行C-V掃描。利用自動繪圖功能能夠方便的實現(xiàn)參數(shù)提取(例如，如圖5所示)。

通常，人們都希望工程技術(shù)人員和研究人員在幾乎沒有任何儀器使用經(jīng)驗或培訓(xùn)的情況下就能夠進行C-V測量。具有直觀用戶界面和簡單易用特征的測試系統(tǒng)使得這一點成為現(xiàn)實。其中包括簡單的測試配置、序列控制和數(shù)據(jù)分析。否則，用戶在掌握系統(tǒng)方面就要比采集和使用數(shù)據(jù)花費更多的時間。對測試系統(tǒng)其它考慮因素包括：

?緊密集成的源一測量單元、數(shù)字示波器和C-V表

?方便集成其他外部儀器

?基于探針的高分辨率和高精度測量(直流偏壓低至毫伏級，電容測量低至飛法級)

第3篇：半導(dǎo)體工藝培訓(xùn)范文

目前所在： 花都區(qū) 年 齡： 30

戶口所在： 湖北 國 籍： 中國

婚姻狀況： 未婚 民 族：

培訓(xùn)認證： 未參加 身 高： 158 cm

誠信徽章： 未申請 體 重： 49 kg

人才 測評： 未測評

我的特長：

求職 意向

人才 類型： 普通 求職

應(yīng)聘職位： 生產(chǎn)經(jīng)理/車間主任：生產(chǎn)經(jīng)理

工作年限： 8 職 稱：

求職 類型： 全職 可到職日期： 隨時

月薪要求： 3500--5000 希望工作地區(qū)： 廣州,,

工作經(jīng)歷

公司性質(zhì)： 私營企業(yè) 所屬行業(yè)：電子技術(shù)/半導(dǎo)體/集成電路

擔任職位： 生產(chǎn)經(jīng)理

工作描述： 公司主要生產(chǎn)LED超薄面板燈、LED嵌入式面板燈、豆膽燈等，公司規(guī)模有120人，我的主要工作內(nèi)容有：月生產(chǎn)計劃、干部培訓(xùn)考核，整個公司生產(chǎn)人員調(diào)配、生產(chǎn)進度跟進、生產(chǎn)人員團隊建設(shè)、品質(zhì)異常處理與跟進，報表的的審核、處理生產(chǎn)中發(fā)生的一些特殊問題等工作。

離職原因：

佛山***照明電器有限公司 起止年月：2008-05 ～ 2010-06

公司性質(zhì)： 外商獨資 所屬行業(yè)：電子技術(shù)/半導(dǎo)體/集成電路

擔任職位： 生產(chǎn)主任

工作描述： 公司主要生產(chǎn)LED節(jié)能燈、熒光節(jié)能、汽車燈、鹵素燈、PAR燈等等，我負責LED節(jié)能車間約100人，主要工作內(nèi)容包括月生產(chǎn)計劃、工藝流程的監(jiān)控及修改、品質(zhì)要求、團隊建設(shè)、品質(zhì)異常處理、報表的審核（日報表、計件工資表、檢驗反饋單、月品質(zhì)異常圖）

離職原因：

***電子科技有限公司作生產(chǎn)部主管 起止年月：2007-03 ～ 2008-05

公司性質(zhì)： 民營企業(yè) 所屬行業(yè)：電子技術(shù)/半導(dǎo)體/集成電路

擔任職位： 生產(chǎn)主管

工作描述： 司主要生產(chǎn)LED發(fā)光極管，主要用于發(fā)光玩具、戶外顯示屏等、車間約60人主要工作內(nèi)容包括生產(chǎn)計劃、作業(yè)指導(dǎo)書的制定、品質(zhì)異常的分析及處理、人員團隊的建設(shè)、LED芯片的采購、工藝流程的監(jiān)控及修改、報表的審核等。

離職原因：

廣州***電子科技有限公司 起止年月：2002-04 ～ 2007-03

公司性質(zhì)： 外商獨資 所屬行業(yè)：

擔任職位：

工作描述： 公司生產(chǎn)發(fā)光玩具和飾品我主要負責產(chǎn)品品質(zhì)監(jiān)控，制定QC工程圖、檢驗標準及月品質(zhì)異常圖、品質(zhì)異常處理、日報表的審核、員工品質(zhì)意識的宣導(dǎo)程序文件的制定、LED芯片的采購、主持召開品質(zhì)會議等，獲得資格證書：IS09001內(nèi)部質(zhì)量審核員證書。

教育經(jīng)歷

離職原因：

教育背景

畢業(yè)院校： 湖北襄樊學(xué)院

最高學(xué)歷： 大專 獲得學(xué)位: 畢業(yè)日期： 2002-07

專 業(yè) 一： 計算機與應(yīng)用 專 業(yè) 二：

起始年月 終止年月 學(xué)校（機構(gòu)） 所學(xué)專業(yè) 獲得證書 證書編號

語言能力

外語： 英語 一般 粵語水平：

其它外語能力：

國語水平：

第4篇：半導(dǎo)體工藝培訓(xùn)范文

關(guān)鍵詞：微電子學(xué)；實驗室建設(shè)；教學(xué)改革；

1微電子技術(shù)的發(fā)展背景

美國工程技術(shù)界在評出20世紀世界最偉大的20項工程技術(shù)成就中第5項——電子技術(shù)時指出：“從真空管到半導(dǎo)體，集成電路已成為當代各行各業(yè)智能工作的基石”。微電子技術(shù)發(fā)展已進入系統(tǒng)集成(SOC—SystemOnChip)的時代。集成電路作為最能體現(xiàn)知識經(jīng)濟特征的典型產(chǎn)品之一，已可將各種物理的、化學(xué)的和生物的敏感器(執(zhí)行信息獲取功能)和執(zhí)行器與信息處理系統(tǒng)集成在一起，從而完成從信息獲取、處理、存儲、傳輸?shù)綀?zhí)行的系統(tǒng)功能。這是一個更廣義的系統(tǒng)集成芯片，可以認為這是微電子技術(shù)又一次革命性變革。因而勢必大大地提高人們處理信息和應(yīng)用信息的能力，大大地提高社會信息化的程度。集成電路產(chǎn)業(yè)的產(chǎn)值以年增長率≥15%的速度增長，集成度以年增長率46%的速率持續(xù)發(fā)展，世界上還沒有一個產(chǎn)業(yè)能以這樣的速度持續(xù)地發(fā)展。2001年以集成電路為基礎(chǔ)的電子信息產(chǎn)業(yè)已成為世界第一大產(chǎn)業(yè)。微電子技術(shù)、集成電路無處不在地改變著社會的生產(chǎn)方式和人們的生活方式。我國信息產(chǎn)業(yè)部門準備充分利用經(jīng)濟高速發(fā)展和巨大市場的優(yōu)勢，精心規(guī)劃，重點扶持，力爭通過10年或略長一段時間的努力，使我國成為世界上的微電子強國。為此，未來十年是我國微電子技術(shù)發(fā)展的關(guān)鍵時期。在2010年我國微電子行業(yè)要實現(xiàn)下列四個目標：

(1)微電子產(chǎn)業(yè)要成為國民經(jīng)濟發(fā)展新的重要增長點和實現(xiàn)關(guān)鍵技術(shù)的跨越。形成2950億元的產(chǎn)值，占GDP的1.6%、世界市場的4%，國內(nèi)市場的自給率達到30%，并且能夠拉動2萬多億元電子工業(yè)產(chǎn)值。從而形成了500~600億元的純利收入。

(2)國防和國家安全急需的關(guān)鍵集成電路芯片能自行設(shè)計和制造。

(3)建立起能夠良性循環(huán)的集成電路產(chǎn)業(yè)發(fā)展、科學(xué)研究和人才培養(yǎng)體系。

(4)微電子科學(xué)研究和產(chǎn)業(yè)的標志性成果達到當時的國際先進水平。

在這一背景下，隨著國內(nèi)外資本在微電子產(chǎn)業(yè)的大量投入和社會對微電子產(chǎn)品需求的急驟增加，社會急切地需要大量的微電子專門人才，僅上海市在21世紀的第一個十年，就需要微電子專門人才25萬人左右，而目前尚不足2萬人。也正是在這一背景下，1999年以來，全國高校中新開辦的微電子學(xué)專業(yè)就有數(shù)十個。2002年8月教育部全國電子科學(xué)與技術(shù)專業(yè)教學(xué)指導(dǎo)委員會在貴陽工作會議上公布的統(tǒng)計數(shù)據(jù)表明，相當多的高校電子科學(xué)與技術(shù)專業(yè)都下設(shè)了微電子學(xué)方向。微電子技術(shù)人才的培養(yǎng)已成為各高校電子信息人才培養(yǎng)的重點。

2微電子學(xué)專業(yè)實驗室建設(shè)的緊迫性

我國高校微電子學(xué)專業(yè)大部分由半導(dǎo)體器件或半導(dǎo)體器件物理專業(yè)轉(zhuǎn)來，這些專業(yè)的設(shè)立可追溯到20世紀50年代后期。辦學(xué)歷史雖長，但由于多年來財力投入嚴重不足，而微電子技術(shù)發(fā)展迅速，國內(nèi)大陸地區(qū)除極個別學(xué)校外，其實驗教學(xué)條件很難滿足要求。高校微電子專業(yè)實驗室普遍落后的狀況，已成為制約培養(yǎng)合格微電子專業(yè)人才的瓶頸。

四川大學(xué)微電子學(xué)專業(yè)的發(fā)展同國內(nèi)其它院校一樣走過了一條曲折的道路。1958年設(shè)立半導(dǎo)體物理方向(專門組)，在其后的40年中，專業(yè)名稱幾經(jīng)變遷，于1998年調(diào)整為微電子學(xué)。由于社會需求強勁，1999年微電子學(xué)專業(yè)擴大招生數(shù)達90多人，是以往招生人數(shù)的2倍。當時，我校微電子學(xué)專業(yè)的辦學(xué)條件與微電子學(xué)學(xué)科發(fā)展的要求形成了強烈反差：實驗室設(shè)施陳舊、容量小，教學(xué)大綱中必需的集成電路設(shè)計課程和相應(yīng)實驗幾乎是空白；按照新的教學(xué)計劃，實施新課程和實驗的時間緊迫，基本設(shè)施嚴重不足；教師結(jié)構(gòu)不合理，專業(yè)課程師資缺乏。

在關(guān)系到微電子學(xué)專業(yè)能否繼續(xù)生存的關(guān)鍵時期，學(xué)校組織專家經(jīng)過反復(fù)調(diào)研、論證，及時在全校啟動了“523實驗室建設(shè)工程”。該工程計劃在3~5年時間內(nèi)，籌集2~3億資金，集中力量創(chuàng)建5個適應(yīng)多學(xué)科培養(yǎng)創(chuàng)新人才的綜合實驗基地；重點建設(shè)20個左右基礎(chǔ)(含專業(yè)及技術(shù)基礎(chǔ))實驗中心(室)；調(diào)整組合、合理配置、重點改造建設(shè)30個左右具有特色的專業(yè)實驗室?！?23實驗室建設(shè)工程”的啟動，是四川大學(xué)面向21世紀實驗教學(xué)改革和實驗室建設(shè)方面的一個重要跨越。學(xué)校將微電子學(xué)專業(yè)實驗室的建設(shè)列入了“523實驗室建設(shè)工程”首批重點支持項目，2000年12月開始分期撥款275萬元，開始了微電子學(xué)專業(yè)實驗室的建設(shè)。怎樣將有限的資金用好，建設(shè)一個既符合微電子學(xué)專業(yè)發(fā)展方向，又滿足本科專業(yè)培養(yǎng)目標要求的微電子學(xué)專業(yè)實驗室成為我們學(xué)科建設(shè)的重點。

3實驗室建設(shè)項目的實施

3.1整體規(guī)劃和目標的確立

微電子技術(shù)的發(fā)展要求我們的實驗室建設(shè)規(guī)劃、實驗教改方案、人才培養(yǎng)目標必須與其行業(yè)發(fā)展規(guī)劃一致，既要腳踏實地，實事求是，又必須要有前瞻性。尤其要注意國際化人才的培養(yǎng)。微電子的人才培養(yǎng)若不能實現(xiàn)國際化，就不能說我們的人才培養(yǎng)是成功的。

基于這樣的考慮，在調(diào)查研究的基礎(chǔ)上，我們將實驗室建設(shè)整體規(guī)劃和目標確定為：建立國內(nèi)一流的由微電子器件平面工藝與器件參數(shù)測試綜合實驗及超大規(guī)模集成電路芯片設(shè)計綜合實驗兩個實驗系列構(gòu)成的微電子學(xué)專業(yè)實驗體系，既滿足微電子學(xué)專業(yè)教學(xué)大綱要求，又適應(yīng)當今國際微電子技術(shù)及其教學(xué)發(fā)展需求的多功能的、開放性的微電子教學(xué)實驗基地。我們的目標是：

(1)建立有特色的教學(xué)體系——微電子工藝與設(shè)計并舉，強化理論基礎(chǔ)、強化綜合素質(zhì)、強化能力培養(yǎng)。

(2)保證寬口徑的同時，培養(yǎng)專業(yè)技能。

(3)建立開放型實驗室，適應(yīng)跨學(xué)科人才的培養(yǎng)。

(4)在全國微電子學(xué)專業(yè)的教學(xué)中具有一定的先進性。

實踐中我們認識到，要實現(xiàn)以上目標、完成實驗室建設(shè)，必須以教學(xué)體系改革、教材建設(shè)為主線開展工作。

3.2重組實驗教學(xué)課程體系，培養(yǎng)學(xué)生的創(chuàng)新能力和現(xiàn)代工業(yè)意識

實驗課程體系建設(shè)的總體思路是培養(yǎng)創(chuàng)造性人才。實驗的設(shè)置要讓學(xué)生成為實驗的主角和與專業(yè)基礎(chǔ)理論學(xué)習(xí)相聯(lián)系的主動者，能激發(fā)學(xué)生的創(chuàng)造性，有專業(yè)知識縱向和橫向自主擴展和創(chuàng)新的余地。因此該實驗體系將是開放式的、有層次的和與基礎(chǔ)課及專業(yè)基礎(chǔ)課密切配合的。實驗教學(xué)的主要內(nèi)容包括必修、選修和自擬項目。我們反復(fù)認真研究了教育部制定的本科微電子學(xué)專業(yè)培養(yǎng)大綱及國際上對微電子學(xué)教學(xué)提出的最新基本要求。根據(jù)專業(yè)的特點，充分考慮目前國內(nèi)大力發(fā)展集成電路生產(chǎn)線(新建線十條左右)和已成立近百家集成電路設(shè)計公司對人才的強烈需求，為新的微電子專業(yè)教學(xué)制定出由以下兩個實驗系列構(gòu)成的微電子學(xué)專業(yè)實驗體系。

(1)微電子器件平面工藝與器件參數(shù)測試綜合實驗。

這是微電子學(xué)教學(xué)的重要基礎(chǔ)內(nèi)容，也是我校微電子學(xué)教學(xué)中具有特色的實驗課程。這一實驗系列將使學(xué)生了解和初步掌握微電子器件的主要基本工藝，工藝參數(shù)的控制方法和工藝質(zhì)量控制的主要檢測及分析方法，深刻地了解成品率在微電子產(chǎn)品生產(chǎn)中的重要性。同時，半導(dǎo)體材料特性參數(shù)的測試分析系列實驗是配合“半導(dǎo)體物理”和“半導(dǎo)體材料”課程而設(shè)置的基本實驗，通過整合，實時地與器件工藝實驗配合，雖增加了實驗教學(xué)難度，卻使學(xué)生身臨其境直觀地掌握了工藝對參數(shù)的影響、參數(shù)反饋對工藝的調(diào)整控制、了解半導(dǎo)體重要參數(shù)的測試方法并加深對其相關(guān)物理內(nèi)涵的深刻理解。這樣的綜合實驗，對于學(xué)生深刻樹立產(chǎn)品成品率，可靠性和生產(chǎn)成本這一現(xiàn)代工業(yè)的重要意識是必不可少的。

(2)超大規(guī)模集成電路芯片設(shè)計綜合實驗。

這是微電子學(xué)教學(xué)的重點基礎(chǔ)之一。教學(xué)目的是掌握超大規(guī)模集成電路系統(tǒng)設(shè)計的基本原理和規(guī)則，初步掌握先進的超大規(guī)模集成電路設(shè)計工具。該系列的必修基礎(chǔ)實驗共80學(xué)時，與之配套的講授課程為“超大規(guī)模集成電路設(shè)計基礎(chǔ)”。除此而外，超大規(guī)模集成電路測試分析和系統(tǒng)開發(fā)實驗不僅是與“超大規(guī)模集成電路原理”和“電路系統(tǒng)”課程套配，使學(xué)生更深刻的理解和掌握集成電路的特性；同時也是與前一系列實驗配合使學(xué)生具備自擬項目和獨立創(chuàng)新的理論及實驗基礎(chǔ)。

3.3優(yōu)化設(shè)施配置，爭取項目最佳成效

由于項目實施的時間緊迫、資金有限。我們非常謹慎地對待每一項實施步驟。力圖實現(xiàn)設(shè)施的優(yōu)化配置，使項目產(chǎn)生最佳效益。最終較好地完成了集成電路設(shè)計實驗體系和器件平面工藝實驗體系的實施。具體內(nèi)容包括：

(1)集成電路設(shè)計實驗體系。集成電路設(shè)計實驗室機房的建立——購買CADENCE系統(tǒng)軟件(IC設(shè)計軟件)、ZENILE集成電路設(shè)計軟件；集成電路設(shè)計實驗課程體系由EDA課程及實驗、FPGA課程及實驗、PSPICE電路模擬及實驗、VHDL課程及實驗、ASIC課程及實驗、IC設(shè)計課程及實驗等組成。

(2)器件平面工藝實驗體系和相關(guān)參數(shù)測試分析實驗。結(jié)合原有設(shè)備新購并完善平面工藝實驗系統(tǒng)，包括：硼擴、磷擴、氧化、清洗、光刻、金屬化等；與平面工藝同步的平面工藝參數(shù)測試，包括：方塊電阻、C-V測試(高頻和準靜態(tài))、I-V測試、Hall測試、膜厚測試(ELLIPSOMETRY)及其它器件參數(shù)測試(實時監(jiān)控了解器件參數(shù)，反饋控制工藝參數(shù))；器件、半導(dǎo)體材料物理測試設(shè)備，如載流子濃度、電阻率、少子壽命等。

(3)與實驗室硬件建設(shè)配套的軟件建設(shè)和環(huán)境建設(shè)。實驗室環(huán)境建設(shè)、實驗室崗位設(shè)置、實驗課程的系統(tǒng)開設(shè)、向相關(guān)學(xué)院及專業(yè)提出已建實驗室開放計劃、制定各項管理制度。

在實驗室的階段建設(shè)中，我們分步實施、邊建邊用、急用優(yōu)先，在建設(shè)期內(nèi)就使實驗室發(fā)揮出了良好的使用效益。

3.4強化管理，實行教師負責制

新的實驗室必須要有全新的管理模式。新建實驗室和實驗課程的管理將根據(jù)專業(yè)教研室的特點，采取教研室主任和實驗室主任統(tǒng)一協(xié)調(diào)下的教師責任制。在兩大實驗板塊的基礎(chǔ)上，根據(jù)實驗內(nèi)容的布局進一步分為4類(工藝及測試，物理測試，設(shè)計和集成電路參數(shù)測試，系統(tǒng)開發(fā))進行管理。原則上，實驗設(shè)施的管理及實驗科目的開放由相應(yīng)專業(yè)理論課的教師負責，在項目的建立階段，將按前述的分工實施責任制，其責任的內(nèi)容包括：組織設(shè)備的安裝調(diào)試，設(shè)備使用規(guī)范細則的制定，實驗指導(dǎo)書的編寫等。根據(jù)專業(yè)建設(shè)的規(guī)劃，在微電子實驗室建設(shè)告一段落后，主管責任教師將逐步由較年青的教師接任。主管責任教師的責任包括：設(shè)備的維護和保養(yǎng)，使用規(guī)范和記錄執(zhí)行情況的監(jiān)督，組織對必修和選修科目實驗指導(dǎo)書的更新，組織實驗室開放及輔導(dǎo)教師的安排，完善實驗室開放的實施細則等。

實驗課將是開放式的。結(jié)合基礎(chǔ)實驗室的開放經(jīng)驗和微電子專業(yè)實驗的特點，要求學(xué)生在完成實驗計劃和熟悉了設(shè)備使用規(guī)范細則的條件下，對其全面開放。對非微電子專業(yè)學(xué)生的開放，采取提前申請，統(tǒng)一完成必要的基礎(chǔ)培訓(xùn)后再安排實驗的方式。同時將針對一些專業(yè)的特點編寫與之相適應(yīng)的實驗教材。

4取得初步成果

微電子學(xué)專業(yè)實驗室通過近3年來的建設(shè)運行，實現(xiàn)或超過了預(yù)期建設(shè)目標，成效顯著，于2002年成功申報為&quot；四川省重點建設(shè)實驗室&quot；?，F(xiàn)將取得的初步成果介紹如下：

(1)在微電子實驗室建設(shè)的促進下，為適應(yīng)新條件下的實驗教學(xué)，我們調(diào)整了教材的選用范圍。微電子學(xué)專業(yè)主干課教材立足選用國外、國內(nèi)的優(yōu)秀教材，特別是國外能反映微電子學(xué)發(fā)展現(xiàn)狀及方向的先進教材，我們已組織教師編撰了能反映國際上集成電路發(fā)展現(xiàn)狀的《集成電路原理》，選用了最新出版教材《大規(guī)模集成電路設(shè)計》，并編撰、重寫及使用了《集成電路設(shè)計基礎(chǔ)實驗》、《超大規(guī)模集成電路設(shè)計實驗》、《平面工藝實驗》、《微電子器件原理》、《微電子器件工藝原理》等教材。

在重編實驗教材時，改掉了&quot；使用說明&quot；式的教材編寫模式。力圖使實驗教材能配合實驗教學(xué)培養(yǎng)目標，啟發(fā)學(xué)生的想象力和創(chuàng)造力，尤其是誘發(fā)學(xué)生的原發(fā)性創(chuàng)新能力乃至創(chuàng)新沖動。

(2)對本科微電子學(xué)的教學(xué)計劃、教學(xué)大綱和教材進行了深入研究和大幅度調(diào)整，并充分考慮了實驗課與理論課的有機結(jié)合。堅持并發(fā)展了我校微電子專業(yè)在器件工藝實驗上的特色和優(yōu)勢，通過對實驗課及其內(nèi)容進行整合更新，使實驗更具綜合性。如將過去的單一平面工藝實驗與測試分析技術(shù)有機的結(jié)合，將原來相互脫節(jié)的芯片工藝、參數(shù)測試、物理測試等有機地整合在一起，以便充分模擬真實芯片工藝流程。使學(xué)生在獨立制造出半導(dǎo)體器件的同時，能對工藝控制進行實時綜合分析。

(3)引入了國際上最通用、最先進的超大規(guī)模集成電路系統(tǒng)設(shè)計教學(xué)軟件(如CADENCE等)，使學(xué)生迅速地掌握超大規(guī)模集成電路設(shè)計的先進基本技術(shù)，激發(fā)其創(chuàng)造性。為了保證這一教學(xué)目的的實現(xiàn)，我們對

專業(yè)的整體教學(xué)計劃做了與之配合的調(diào)整。在第5學(xué)期加強了電子線路系統(tǒng)設(shè)計(如EDA、PSPICE等)的課程和實驗內(nèi)容。在教學(xué)的第4學(xué)年又預(yù)留了足夠的學(xué)時，作為學(xué)生進一步掌握這一工具的選修題目的綜合訓(xùn)練。

(4)所有的實驗根據(jù)專業(yè)基礎(chǔ)課的進度分段對各年級學(xué)生隨時開放。學(xué)生根據(jù)已掌握的專業(yè)理論知識和實驗指導(dǎo)書選擇實驗項目，提出實驗路線。鼓勵學(xué)生對可提供的實驗設(shè)施作自擬的整合，促進學(xué)生對實驗課程的全身心的投入。

在實驗成績的評定上，不簡單地看實驗結(jié)果的正確與否，同時注重實驗方案的合理性和創(chuàng)造性，注重是否能對實驗現(xiàn)象有較敏銳的觀察、分析和處理能力。

(5)通過送出去的辦法，把教師和實驗人員送到器件公司、設(shè)計公司培訓(xùn)，并積極開展了校內(nèi)、校際間的進修培訓(xùn)。推促教師在專業(yè)基礎(chǔ)和實驗兩方面交叉教學(xué)，提高了教師隊伍的綜合素質(zhì)。

(6)將集成電路設(shè)計實驗室建設(shè)成為電子信息類本科生的生產(chǎn)實習(xí)基地，為此，我們參加了中芯國際等公司的多項目晶圓計劃。

加入了國內(nèi)外EDA公司的大學(xué)計劃，以利于實驗室建設(shè)發(fā)展和提高教學(xué)質(zhì)量，如華大公司支持微電子實驗室建設(shè)，贈送人民幣1100萬元軟件(RFIC，SOC等微電子前沿技術(shù))已進入實驗教學(xué)。

5結(jié)語

第5篇：半導(dǎo)體工藝培訓(xùn)范文

全球IC設(shè)計業(yè)的年均增長率始終高于整個半導(dǎo)體行業(yè)。IC設(shè)計業(yè)占據(jù)IC產(chǎn)業(yè)的比重也逐年提升。2008年,全球集成電路產(chǎn)業(yè)出現(xiàn)2.8%的負增長,相對而言IC設(shè)計業(yè)卻有6%的增長,使其比重提高到21.4%。半導(dǎo)體市場的波動,同樣也影響到了IP核市場的走勢。IP核產(chǎn)業(yè)的走勢相對于半導(dǎo)體市場的走勢稍有滯后,但總體趨勢基本一致。

在全球市場中,亞太占全球半導(dǎo)體市場比重越來越大,而這一趨勢并沒有隨著金融危機的來臨而受到太大影響。目前亞太市場份額已經(jīng)超過全球市場一半。我國在亞太市場中占據(jù)重要地位,09年上半年,中國大陸集成電路產(chǎn)業(yè)銷售額達到68.5億美元,占全球半導(dǎo)體市場的7.15%。IC設(shè)計業(yè)成為國內(nèi)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈中唯一呈現(xiàn)正增長的環(huán)節(jié)。本文主要分析了2009年我國IC設(shè)計業(yè)發(fā)展狀況和未來趨勢,提出了目前該行業(yè)存在的主要問題及發(fā)展建議。

1中國IC設(shè)計業(yè)發(fā)展現(xiàn)狀與趨勢

1.1 發(fā)展現(xiàn)狀

1.1.1 IC設(shè)計業(yè)一枝獨秀,經(jīng)濟政策和內(nèi)需市場成增長引擎

2009年,中國IC設(shè)計業(yè)成為國內(nèi)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈中唯一呈現(xiàn)正增長的環(huán)節(jié),IC設(shè)計業(yè)實現(xiàn)銷售收入116.94億元,與去年同期相比增長9.7%。而國內(nèi)芯片制造業(yè)以及封裝業(yè)卻呈現(xiàn)大幅下滑的狀況。據(jù)統(tǒng)計,2001~2008年,我國IC設(shè)計業(yè)占國內(nèi)IC產(chǎn)業(yè)的比重從5.5%提升到18.9%,占全球IC設(shè)計業(yè)的比重從2001年的1%攀升至2008年的6.1%。截止2009年我國共有IC設(shè)計企業(yè)500多家,我國IC設(shè)計業(yè)從業(yè)人員約5.5萬人。2009年我國IC設(shè)計業(yè)銷售收入預(yù)計達286.74 億元。據(jù)iSuppli預(yù)測,2009年全年,中國半導(dǎo)體市場下降6.8%,至682億美元,中國IC設(shè)計業(yè)2009年將擴大至42億美元,比2008年時的34億美元增長24.2%。這個數(shù)字占全球Fabless約500億美元的8%,及占中國半導(dǎo)體業(yè)銷售額(09年約1118億元)的25.6%。

在國際金融危機的嚴重影響下,2009年國內(nèi)IC設(shè)計業(yè)能夠?qū)崿F(xiàn)正增長的動力主要來自國內(nèi)大項目的帶動和國內(nèi)內(nèi)需市場的快速恢復(fù)。由于政府實行了4萬億元投資的經(jīng)濟刺激方案和“擴內(nèi)需、保增長”的政策,3G市場啟動、家電下鄉(xiāng)以及家電汰舊換新優(yōu)惠措施的持續(xù),新能源產(chǎn)業(yè)的發(fā)展,節(jié)能降耗的潮流,都為IC設(shè)計業(yè)帶來新的商機。大部分IC設(shè)計企業(yè)在金融危機到來之際都采取了積極的應(yīng)對舉措。隨著09年第二季度訂單的恢復(fù),也就能呈現(xiàn)較快的增長勢頭。

1.1.2國內(nèi)企業(yè)普遍具備0.18微米以下工藝水平和百萬門規(guī)模設(shè)計能力

從工藝設(shè)計能力來看,我國IC設(shè)計企業(yè)普遍具備了小于0.18微米(含)的工藝水平。其中設(shè)計能力小于0.13微米的企業(yè)占相當比例,少數(shù)企業(yè)設(shè)計水平已經(jīng)達到65納米的先進水平。我國芯片主流量產(chǎn)工藝采用0.13微米和0.18微米。中國IC設(shè)計公司在選擇工藝技術(shù)時更加務(wù)實,普遍表示視產(chǎn)品實際需要而定,以適用為度,而不會盲目追求先進工藝。

從產(chǎn)品的集成度來看,我國IC設(shè)計企業(yè)普遍具備了100萬門規(guī)模以上的設(shè)計能力,最大設(shè)計規(guī)模已經(jīng)超過1億門。設(shè)計能力在100萬門~500萬門規(guī)模之間的IC設(shè)計企業(yè)比例達到了38%,設(shè)計能力在500萬門~1000萬門規(guī)模和1000萬門以上規(guī)模的IC企業(yè)比例各占19%。三者相加,具備100萬門以上規(guī)模設(shè)計能力的IC企業(yè)占到調(diào)查樣本企業(yè)的76%。中科院計算所自主開發(fā)的龍芯系列芯片,設(shè)計規(guī)模超過了1億門,并已小批量試投,反映出我國在CPU研發(fā)能力方面的顯著提升。

1.1.3 自主設(shè)計產(chǎn)品中SoC占主體,嵌入式CPU倍受關(guān)注

目前國內(nèi)IC設(shè)計企業(yè)可以提供的產(chǎn)品范圍涵蓋IC卡、多媒體處理器、MCU、數(shù)字電視芯片、網(wǎng)絡(luò)通信芯片、RF芯片、電源管理芯片、DSP、嵌入式CPU、ASIC、模擬線性IC、混和IC和通用邏輯IC等,種類比較豐富。調(diào)查發(fā)現(xiàn),我國自主設(shè)計的IC產(chǎn)品中SoC類芯片所占比例達到了29%,居各類IC產(chǎn)品第一位。具有高性能、低功耗、小尺寸等優(yōu)勢的SoC芯片,可以有效地滿足電子整機系統(tǒng)不斷向多功能、高復(fù)雜度、小型化方向發(fā)展的需要,因而 SoC芯片正引領(lǐng)市場潮流。業(yè)界普遍看好SoC在未來的發(fā)展前景,并希望國家能夠給予支持。另外,嵌入式CPU則是我國IC設(shè)計企業(yè)普遍看好的明日之星產(chǎn)品。

1.1.4 企業(yè)對公共服務(wù)平臺需求多樣化,SMIC成IC設(shè)計發(fā)展支點

我國IC設(shè)計企業(yè)對國家集成電路公共服務(wù)平臺的功能需求多樣化,其中為中小企業(yè)和科研機構(gòu)提供EDA工具租用、MPW服務(wù)的需求最大,這說明我國半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè),特別是IC設(shè)計機構(gòu),規(guī)模小,資金實力不夠雄厚,需要政府搭建服務(wù)平臺為其提供便利;提供芯片產(chǎn)品的推廣應(yīng)用服務(wù)居其次,這說明不少的國內(nèi)IC設(shè)計企業(yè)與產(chǎn)業(yè)鏈中的其他環(huán)節(jié)并不能順暢的溝通,需要第三方來促成;IC設(shè)計企業(yè)需要的其它服務(wù)還包括協(xié)助企業(yè)融資、提供知識產(chǎn)權(quán)深度分析服務(wù)、提供IP核評測、SOC驗證、SOC參考平臺等技術(shù)服務(wù)、提供小規(guī)模、快速封裝測試服務(wù)以及提供人才培訓(xùn)等。

最新調(diào)查顯示,國內(nèi)超過60%的IC設(shè)計企業(yè)選擇中芯國際(SMIC)作為代工(Foundry)合作伙伴。在中國大陸本土,中芯國際擁有最先進的工藝生產(chǎn)線,已可以量產(chǎn)65納米工藝的產(chǎn)品,中芯國際目前對我國IC設(shè)計業(yè)的發(fā)展起著不可或缺的支撐作用。

1.2 趨勢分析

1.2.1 IC設(shè)計行業(yè)正呈現(xiàn)“分工極致化”與“企業(yè)虛擬化”的特征,縱向整合成未來方向。

隨著半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)分工的日益細化,不僅封裝測試、芯片代工等生產(chǎn)環(huán)節(jié)已經(jīng)獨立于IC設(shè)計行業(yè)之外,產(chǎn)品銷售、方案提供、IP開發(fā)、甚至整體芯片設(shè)計也已從Fabless公司中剝離出來而成為獨立的業(yè)務(wù)與專業(yè)化的企業(yè),IC設(shè)計行業(yè)正呈現(xiàn)“分工極致化”與“企業(yè)虛擬化”的特征。目前國內(nèi)IC設(shè)計行業(yè)激烈的市場競爭恰恰加速了這一演變進程,不斷被壓縮的利潤空間使得IC設(shè)計公司很難維持一個龐大的人員團隊,“輕型化”與“靈活性”對IC設(shè)計企業(yè)顯得更加重要。

2009年擁有強大整機企業(yè)背景的海思半導(dǎo)體、中興微電子、比亞迪微電子等企業(yè)成功抵御金融危機和半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)衰退的沖擊,將獲得超過40%的增長,這大大超過了2009年我國IC設(shè)計業(yè)11%的增長率,這些企業(yè)的一個共同點是縱向整合產(chǎn)業(yè)鏈資源,在產(chǎn)業(yè)鏈的某一個環(huán)節(jié)上,取得核心競爭優(yōu)勢,從而使企業(yè)獲得了快速發(fā)展,這或成未來中國IC設(shè)計業(yè)的一個發(fā)展方向。

1.2.2 企業(yè)向主流核心產(chǎn)品拓展,網(wǎng)絡(luò)多媒體終端成未來創(chuàng)新突破點。

近年來中國IC設(shè)計產(chǎn)業(yè)的發(fā)展過程中,出現(xiàn)了不少以市場為導(dǎo)向,具有競爭活力的公司。一些有實力的公司正在積蓄力量,準備向核心領(lǐng)地,如手機、上網(wǎng)本等領(lǐng)域發(fā)起沖擊。未來2~3年,智能手機、3G、數(shù)字電視、互聯(lián)網(wǎng)多媒體終端等領(lǐng)域都將是本土IC公司的創(chuàng)新突破點。數(shù)字電視市場發(fā)展?jié)摿薮?模擬手機電視也開始廣受關(guān)注,吸引多家芯片廠商加盟。此外,本土IC廠商在支持CMMB及模擬電視的雙模產(chǎn)品方面可有發(fā)揮。 3G帶動手機向多媒體轉(zhuǎn)變,對無線互聯(lián)、音頻、視頻、圖像的處理功能的需求增強。未來智能手機市場容量巨大,對芯片方案的需求也會不斷變化,這將給本土IC設(shè)計公司帶來更多發(fā)展機會。

1.2.3 芯片設(shè)計周期長于產(chǎn)品生命周期,“Turnkey”升至IP環(huán)節(jié)

我國IC設(shè)計企業(yè)普遍存在的問題是設(shè)計周期比產(chǎn)品生命周期長。IC設(shè)計周期通常是18個月,而通信、消費產(chǎn)品的生命周期縮短到12個月,研發(fā)周期趕不上生命周期。在此情勢下,國內(nèi)IC設(shè)計企業(yè)定義產(chǎn)品的形式一般有兩種情況:大公司可以有多個項目、多個團隊交替研發(fā),在12個月內(nèi)總有新產(chǎn)品,這種應(yīng)對方案很少公司能做到;另一種是把能想到的都加入到設(shè)計中,但是又導(dǎo)致費用上升,成本難以控制。這已成為本土IC設(shè)計企業(yè)面臨的難題。

近期值得關(guān)注的一個現(xiàn)象是新興的IP供應(yīng)商Andes(晶心科技)復(fù)制了聯(lián)發(fā)科的成功經(jīng)驗,推出了一站式IP解決方案(IP Turnkey Solution)模式,其內(nèi)涵是一站式解決方案(Turnkey Solution)不單指半導(dǎo)體芯片解決方案,現(xiàn)在已經(jīng)延伸到IP層面,不僅為客戶提供核心處理器IP,同時考慮市場與客戶需求、SoC設(shè)計所需完整系統(tǒng),提供一站式IP解決方案。這樣可有效縮短IC項目設(shè)計周期,把產(chǎn)品快速推向市場。

1.2.4 Foundry從單純制造向行業(yè)主導(dǎo)者角色演變

調(diào)查發(fā)現(xiàn),Fabless與Foundry之間的分工模式正在悄然發(fā)生著變化,Foundry目前已脫離原本單純的制造范疇而拓展至生產(chǎn)過程中涉及的設(shè)計、設(shè)計服務(wù)、IP交易、封裝測試等各個領(lǐng)域,其提供的服務(wù)也越來越趨于整合這些不同業(yè)務(wù)?？梢哉f,Foundry企業(yè)正向扮演行業(yè)發(fā)展主導(dǎo)者的角色演變。臺積電、聯(lián)電、中芯國際等Foundry大廠也都在積極籌劃各自的整合平臺業(yè)務(wù)。Foundry整合平臺無疑就是Foundry領(lǐng)域的Turn-key模式。這一模式確實可以有效的“協(xié)助其客戶大幅縮短IC生產(chǎn)流程,降低整體IC研發(fā)成本”。但是Turn-key是否能夠“加速IC產(chǎn)業(yè)創(chuàng)新和增長”尚需觀察。

2中國IP核產(chǎn)業(yè)發(fā)展狀況

鑒于IP與SoC設(shè)計的重要性,一位業(yè)界專家指出,一個國家發(fā)展集成電路產(chǎn)業(yè)的過程,從某種意義上說,就是研發(fā)和積累IP的過程。目前我國大多數(shù)集成電路設(shè)計企業(yè)已經(jīng)在SoC設(shè)計過程中采購第三方IP核,以加快設(shè)計進度。但仍有約50%的集成電路設(shè)計企業(yè)在SoC設(shè)計工程中不采購第三方IP核,而代以自己開發(fā)的模式,這嚴重限制了我國IP市場的規(guī)模,也在一定程度上制約了我國IC設(shè)計業(yè)的快速發(fā)展。

雖然我國集成電路IP核產(chǎn)業(yè)發(fā)展較晚,但隨著設(shè)計業(yè)的發(fā)展,也出現(xiàn)了幾家較為成功的IP核供應(yīng)商,如蘇州國芯、四川和芯微以及神州龍芯、浩凱微等。除了以IP核授權(quán)為主的IP供應(yīng)商外,幾乎我國每家IC設(shè)計企業(yè)都有自有IP核。但約有40%的設(shè)計企業(yè)不愿意將企業(yè)自有IP核拿出來交易,已將IP核拿出來交易的企業(yè)占20%,還有40%的企業(yè)愿意但尚未推廣自有IP核。知識產(chǎn)權(quán)保護問題和IP核的技術(shù)支持問題是IP核市場存在的根本前提,有很多企業(yè)不愿意將自有IP核拿到市場上交易,寧愿花更多的成本將其固化成芯片,正是基于這樣的擔心。如果IP核供應(yīng)商可以提升IP核可交付資料的完備性,提升技術(shù)服務(wù)能力和便捷性,并且創(chuàng)造良好的IP核交易氛圍,那么企業(yè)內(nèi)部自有IP核的上市必將活躍我國的IP核交易市場,推動我國IP核產(chǎn)業(yè)的發(fā)展。

3中國IC設(shè)計業(yè)及

IP核發(fā)展中的問題

3.1 我國IC設(shè)計業(yè)技術(shù)水平與國際先進水平差距明顯

國際上IC設(shè)計公司的主流數(shù)字工藝集中在65納米,部分公司已進入45/40納米,相比較,我國本土IC設(shè)計公司中約有一半公司的數(shù)字工藝水平為0.13微米/0.18微米,能夠達到90納米的很少,只有個別企業(yè)具備了65納米的設(shè)計能力。在IC制造環(huán)節(jié),英特爾32納米的產(chǎn)品在2009年年底量產(chǎn),而國內(nèi)企業(yè)65納米平臺還不算完備。另外,除了基于硅平臺的演變,非硅突破、量子新興電子學(xué)等先進技術(shù)對于我們發(fā)展時間不長,積累技術(shù)不豐富的國內(nèi)IC設(shè)計業(yè)來說,又是一個巨大的挑戰(zhàn)。

3.2 國內(nèi)IC設(shè)計企業(yè)研發(fā)力量薄弱,缺乏足夠IP積累

自全球IC設(shè)計業(yè)進入系統(tǒng)芯片(SoC)設(shè)計階段,單個芯片上需要用到的IP越來越多。如果沒有足夠多并且有特色的IP,就無法設(shè)計出具有市場競爭力的產(chǎn)品。本土IC企業(yè)普遍規(guī)模小、實力弱,采購第三方IP難以承擔高昂的費用,完全依靠自有力量研發(fā),又會延長項目開發(fā)周期,這已成為不少企業(yè)的兩難選擇。由于這種狀況不可能短期根本改觀,它將成為制約我國IC設(shè)計業(yè)發(fā)展的一個隱。

3.3 國內(nèi)IC設(shè)計骨干企業(yè)數(shù)量少,企業(yè)發(fā)展模式單一

盡管我國IC設(shè)計業(yè)產(chǎn)業(yè)規(guī)模在迅速擴大,但整體實力較弱,企業(yè)小而散,缺少大的骨干企業(yè),導(dǎo)致產(chǎn)品同質(zhì)化競爭、低價競爭的局面不斷擴大,領(lǐng)頭羊模式仍需進一步探討。

從發(fā)展模式來看,國內(nèi)IC設(shè)計企業(yè)持續(xù)創(chuàng)新能力不足,專利積累數(shù)量很少,極少企業(yè)能夠自主進行創(chuàng)新理念和商業(yè)模式的突破。

3.4 IC設(shè)計企業(yè)與整機廠商脫節(jié)狀況仍比較嚴重,缺乏完整的價值鏈

多數(shù)國內(nèi)IC設(shè)計企業(yè)缺乏產(chǎn)品解決方案的開發(fā)能力,與全球IC設(shè)計和系統(tǒng)設(shè)計趨于融合的國際大趨勢相比,國內(nèi)IC設(shè)計企業(yè)與整機廠商間的聯(lián)動機制依然薄弱。相比成功的跨國公司,國內(nèi)IC設(shè)計企業(yè)缺乏完整的價值鏈。與代工廠商、測試廠商、封裝廠商、EDA工具提供商、IP廠商、系統(tǒng)廠商等上下游企業(yè)缺乏密切的協(xié)作關(guān)系。

3.5 政策環(huán)境仍然難以適應(yīng)產(chǎn)業(yè)發(fā)展的需要

隨著產(chǎn)業(yè)發(fā)展環(huán)境的變化,現(xiàn)有政策已難于適應(yīng)產(chǎn)業(yè)發(fā)展的新情況。突出的是我國的設(shè)計企業(yè)所承受的增值稅稅負問題。作為智力密集型的設(shè)計企業(yè)因進項很小導(dǎo)致增值稅稅負沉重。有的企業(yè)或者采取在國外生產(chǎn)制造、再進口到國內(nèi),或者采取復(fù)進口的方式,甚至個別企業(yè)采取變相的方法偷稅漏稅,以達到減免稅收的目的。

4發(fā)展建議

4.1 貫徹“以應(yīng)用 促發(fā)展”戰(zhàn)略,出臺保障政策和措施

我國在2009年初的《電子信息產(chǎn)業(yè)調(diào)整和振興規(guī)劃》中,雖然明確了集成電路產(chǎn)業(yè)“以應(yīng)用,促發(fā)展”的戰(zhàn)略思路,但目前缺乏貫徹這一發(fā)展戰(zhàn)略的具體政策和保障措施。任何一項計劃或政策如果不能有效的影響企業(yè)的市場行為,該項計劃和政策就不能稱之為有效和成功的。調(diào)研中也發(fā)現(xiàn)多數(shù)IC設(shè)計企業(yè)認為近幾年來國家對IC設(shè)計業(yè)的支持多停留在“口惠”層面。

建議圍繞“家電下鄉(xiāng)”和3G移動通信的建設(shè)和運營,設(shè)立集成電路研發(fā)和生產(chǎn)專項資金。加大財政投入和補貼,支持國內(nèi)企業(yè)為“家電下鄉(xiāng)”和3G通信配套集成電路產(chǎn)品的研發(fā)和生產(chǎn)。另外,在金融卡、交通卡、社?？?、醫(yī)療卡等領(lǐng)域,鼓勵整機企業(yè)采購國產(chǎn)集成電路產(chǎn)品,各級政府應(yīng)對相關(guān)集成電路產(chǎn)品建立政府采購制度。對自主設(shè)計并擁有自主知識產(chǎn)權(quán)的中高檔集成電路產(chǎn)品實行首購制度。

4.2 鼓勵整機企業(yè)向IC設(shè)計業(yè)投資,推動產(chǎn)業(yè)鏈垂直整合

通過IC設(shè)計企業(yè)、渠道商、方案提供商、系統(tǒng)整機企業(yè)之間的垂直整合,打造虛擬甚至是實體的IDM,可以形成整個產(chǎn)業(yè)的良性發(fā)展和互動。推動產(chǎn)業(yè)鏈垂直整合是突破國產(chǎn)IC應(yīng)用瓶頸,實現(xiàn)中國IC設(shè)計業(yè)做大做強的有效途徑。但是垂直整合的難度是在市場經(jīng)濟條件下,如何協(xié)調(diào)好各方利益主體,建立內(nèi)在“粘著”機制。比較可行的做法是,以國家戰(zhàn)略任務(wù)為牽引、組建包括IC設(shè)計企業(yè)、渠道商、方案提供商、系統(tǒng)整機企業(yè)在內(nèi)的類似TD-SCDMA的產(chǎn)業(yè)聯(lián)盟; 或者政府出臺相關(guān)政策,如國家以一定比例跟進投資,鼓勵整機企業(yè)向IC設(shè)計企業(yè)投資,或組建合資新公司,從而有效推動產(chǎn)業(yè)鏈的垂直整合。

4.3 集中、高效、循環(huán)利用國家資金,以風(fēng)險投資方式入股企業(yè)

將國家資助資金進行有效利用, 如以風(fēng)險投資方式入股企業(yè), 當企業(yè)獲得利潤后,國家獲得相應(yīng)的投資收益, 并將所得收益進行再次投資給其他需扶持的企業(yè), 實現(xiàn)支持資金的有效使用和放大, 使其進入良性循環(huán)。集中力量開發(fā)或招標開發(fā)具有戰(zhàn)略意義的大項目。關(guān)鍵領(lǐng)域的產(chǎn)品研發(fā)要重點支持,支持要長期不懈。

4.4減輕企業(yè)稅負,優(yōu)化企業(yè)發(fā)展環(huán)境

減輕集成電路設(shè)計企業(yè)增值稅稅負。根據(jù)IC設(shè)計企業(yè)的實際情況,建議在征收IC設(shè)計企業(yè)產(chǎn)品增值稅時,把企業(yè)對該產(chǎn)品的研發(fā)費用與試制批量流片費用列為企業(yè)的進項。

4.5 “扶優(yōu)、扶強、扶大”,培育大公司

挑選有潛力的企業(yè)支持其為“國家隊”,先要有幾棵大樹才能吸引資本和人才進入這個行業(yè),也才能真正培養(yǎng)出高水準的本土人才。枝節(jié)不斷掉下來又長成大樹,這正是硅谷的發(fā)展模式。但要預(yù)防和避免把“國家隊”做成國有大鍋飯企業(yè)。

國家各類集成電路研發(fā)專項向重點企業(yè)傾斜,著力培育壯大一批IC設(shè)計的大型骨干企業(yè),減免高級人才所得稅,對新上項目中高端項目給予貸款貼息獎勵,鼓勵企業(yè)加大研發(fā)投入,引進和留住高端人才等。

4.6 國家出資建設(shè)可以提供絕大多數(shù)IP的公共平臺

在集成電路產(chǎn)業(yè)發(fā)展中,政府應(yīng)重點解決單個企業(yè)難以應(yīng)付的情況和問題,以及單靠企業(yè)力量無法完成的事情。鑒于IP于SoC設(shè)計的日益重要性,結(jié)合目前我國IC設(shè)計業(yè)和IP核產(chǎn)業(yè)發(fā)展的現(xiàn)狀和遇到的問題,建議完善和加強Foundry的IP,打造可以提供絕大多數(shù)IP的公共平臺,國家負責IP費用。IP要全要好是關(guān)鍵,未來5年內(nèi)主要應(yīng)采用拿來主義,多買(License)別人的成熟的技術(shù),盡快滿足當前市場的需求,培育一批可以熟練設(shè)計某個領(lǐng)域內(nèi)專用標準產(chǎn)品(ASSP)芯片的專家。

第6篇：半導(dǎo)體工藝培訓(xùn)范文

關(guān)鍵詞：微電子學(xué)；預(yù)實驗；開放式實驗

作者簡介：梁海蓮（1979-），女，江西高安人，江南大學(xué)物聯(lián)網(wǎng)工程學(xué)院、信息與控制實驗教學(xué)中心，講師；趙琳娜（1979-），女，天津人，江南大學(xué)物聯(lián)網(wǎng)工程學(xué)院、信息與控制實驗教學(xué)中心，講師。（江蘇 無錫 214122）

基金項目：本文系江蘇省研究生教育教學(xué)改革研究與實踐課題（課題編號：YJG08_YB26）的研究成果。

中圖分類號： G642.423 文獻標識碼：A 文章編號：1007-0079（2013）20-0092-02

隨著社會的飛速發(fā)展，傳統(tǒng)封閉式、單向傳輸?shù)恼n程教學(xué)模式，已不能適應(yīng)現(xiàn)代社會發(fā)展的需要。近年來，多數(shù)高校正積極開展面向高校、企業(yè)與科研中心一體化的“產(chǎn)學(xué)研”相結(jié)合的課程教學(xué)改革。[1]

作為電子信息產(chǎn)業(yè)核心技術(shù)之一的微電子技術(shù)，已經(jīng)成為現(xiàn)代電子信息技術(shù)，是當前計算機和通訊技術(shù)發(fā)展的主要驅(qū)動力。[2]作為微電子學(xué)專業(yè)核心課程之一的“微電子專業(yè)實驗”，所涉及的基礎(chǔ)理論知識面較廣，涵蓋了“電路”、“模擬電子技術(shù)”、“數(shù)字電子技術(shù)”、“模擬集成電路”、“數(shù)字集成電路”、“半導(dǎo)體物理”、“半導(dǎo)體器件物理”、“電子設(shè)計CAD”、“集成電路封裝、制造”等多門專業(yè)課程知識。鑒于該課程所需實驗設(shè)備儀器種類較多、測控要求高、儀器價格昂貴、維護成本高等特點，且受人力、物力的限制，課程中不同實驗所需配套設(shè)備購置數(shù)量較少。然而隨著微電子產(chǎn)業(yè)對專業(yè)人才需求的不斷增大，所需人才技能水平日益提高，高校在面向社會、面向未來，構(gòu)建研究型綜合大學(xué)的奮斗目標下，必須提高人才培養(yǎng)效率，改變傳統(tǒng)教學(xué)模式，從根本上解決學(xué)生人數(shù)多、實驗時間短、實踐技能提升緩慢等現(xiàn)實問題，這是課程教學(xué)改革的關(guān)鍵。

基于上述“微電子專業(yè)實驗”的課程特點與現(xiàn)實受限因素，迫切需要針對實驗教學(xué)內(nèi)容、實驗教學(xué)方式和實驗管理制度等方面進行改革與創(chuàng)新。這是因為實驗教學(xué)在高校人才培養(yǎng)過程中起著非常重要的作用，是連接知識與實踐、實踐與創(chuàng)新，并使理論知識向?qū)嵺`能力轉(zhuǎn)化的重要橋梁。[3]為踐行研究型綜合大學(xué)與時俱進的教學(xué)理念，[4]在“微電子專業(yè)實驗”課程教學(xué)改革中，以提高學(xué)生的綜合素質(zhì)為目標，以學(xué)生為主體，在實驗教學(xué)內(nèi)容、實驗過程、實驗管理等方面進行了開放式微電子專業(yè)實驗課程教學(xué)，并取得了良好的教學(xué)效果。

一、實驗教學(xué)內(nèi)容的設(shè)計與完善

針對該課程實驗內(nèi)容系統(tǒng)性強、理論知識抽象復(fù)雜的特點，為使學(xué)生在進入實驗環(huán)節(jié)之前，對理論知識有一個形象、直接的感觸體驗，提高學(xué)生實驗探索的興趣，設(shè)計了一套相關(guān)實驗所需理論知識的預(yù)實驗系統(tǒng)。該系統(tǒng)結(jié)合電子設(shè)計CAD、專業(yè)仿真軟件、動畫演示等，將抽象復(fù)雜的專業(yè)理論知識形象化，有助于強化學(xué)生對理論知識的理解，較好地實現(xiàn)理論與實驗相結(jié)合的過渡銜接。通過理論知識復(fù)習(xí)和預(yù)實驗，既可有效促進學(xué)生對理論的理解，又能讓學(xué)生在預(yù)實驗中掌握下一步實驗過程中的操作技巧，還能為學(xué)生獲得新的理論知識打下良好的基礎(chǔ)。

經(jīng)初步嘗試，整套預(yù)實驗系統(tǒng)中的電路仿真軟件Multisim、印制版電路仿真軟件Protel、FPGA嵌入式系統(tǒng)設(shè)計、虛擬電子實驗室Labview，以及電路系統(tǒng)功能仿真軟件MATLAB、集成電路系統(tǒng)仿真軟件HSPICE、Cadence電子設(shè)計軟件及半導(dǎo)體器件仿真TCAD等軟件，可實現(xiàn)微電子專業(yè)實驗從單個器件向電路模塊乃至整個電路系統(tǒng)，從前端系統(tǒng)功能設(shè)計向后端電路制作及電路性能驗證的全功能預(yù)實驗仿真。借助上述預(yù)實驗系統(tǒng)，一方面可以加深學(xué)生對電路結(jié)構(gòu)、原理的認識與理解；另一方面還能訓(xùn)練學(xué)生熟練地使用儀器，掌握正確的測量方法，提升學(xué)生的實驗數(shù)據(jù)分析與鑒別能力，還有利于減少實驗損傷，提高實驗效率。

二、實驗管理制度的設(shè)計與完善

雖然上述預(yù)實驗在一定程度上有助于提高實驗效率，但在提高學(xué)生動手能力、專業(yè)技能等方面尚有欠缺。為了進一步解決微電子專業(yè)實驗儀器精密、貴重且量少，操控較為復(fù)雜、耗時費力等問題，仍需改革原有的實驗管理制度，改變實驗管理方法，提高儀器的使用效率。

針對微電子專業(yè)實驗儀器精密、貴重、數(shù)量較為單一的特點，在購置相關(guān)儀器時，建立了專業(yè)對口教師采購、運行并維護的主負責管理制度，同時配備該儀器適用專業(yè)方向的研究生，經(jīng)專業(yè)培訓(xùn)上崗，輔助指導(dǎo)實驗學(xué)生正確操控、使用儀器。在新置儀器運行之前，要求廠家針對專業(yè)對口主負責教師和若干輔助測控的研究生進行系統(tǒng)運行、維護、管理培訓(xùn)，培訓(xùn)后主負責教師針對“微電子專業(yè)實驗”課程的培養(yǎng)人數(shù)、課程日程、學(xué)分等情況，制定了學(xué)生實驗分組、分時計劃，并相應(yīng)指定各實驗小組的助教研究生，指導(dǎo)學(xué)生使用該儀器，協(xié)助管理實驗儀器的運行、維護，并記載相應(yīng)的實驗運行狀況、實驗人員等。

同時，結(jié)合“微電子專業(yè)實驗”課程系統(tǒng)性強的特點，通過相應(yīng)的實驗教學(xué)環(huán)節(jié)，培養(yǎng)學(xué)生獨立完成半導(dǎo)體材料特性測試、微電子器件特性測試、微電子技術(shù)工藝參數(shù)測試和電路系統(tǒng)性能參數(shù)測試等，提升學(xué)生的綜合測試技能和實驗分析能力，鞏固和強化現(xiàn)代微電子技術(shù)與集成電路制造技術(shù)的相關(guān)知識，并為學(xué)生進行理論知識創(chuàng)新提供了一個良好的實驗平臺和理論基礎(chǔ)，綜合鍛煉了學(xué)生分析、探討和總結(jié)實驗結(jié)果的能力。

三、開放式微電子專業(yè)實驗課程教改案例

以MOS集成運算放大器設(shè)計為例，制備工藝平臺為0.6um CMOS工藝，2層多晶硅，5層金屬連線，電路工作電壓為3～5V。

首先，指定實驗內(nèi)容，兩級CMOS集成運算放大器電路原理如圖1所示，[5]其中M1～M4為有源負載的差分輸入級，M5提供該級工作電流，M8、M9構(gòu)成了共源放大電路，為輸出級，M7為源跟隨器，提供增益為1的緩沖器，以克服補償電容的前饋效應(yīng)，并消除零點，M6提供M7所需的工作電流，M10、M11組成運放偏置電路。電路性能與目標設(shè)計要求輸出電壓擺幅大于±3V，最大轉(zhuǎn)換速率為30V/μs，補償電容Cc為10pF。

其次，讓參與實驗的學(xué)生在電路仿真環(huán)境HSPICE中結(jié)合圖1所示電路進行預(yù)實驗，測試集成運算放大器在數(shù)學(xué)、物理理論模型下的理想實驗參數(shù)，完成預(yù)實驗，本預(yù)實驗環(huán)節(jié)所需課時約3學(xué)時。在進入下一實驗環(huán)節(jié)前遞交實驗預(yù)習(xí)報告，由學(xué)生在實驗前聯(lián)系專業(yè)機房的管理人員，自行安排課外時間完成。

再次，讓學(xué)生在Cadence系統(tǒng)中使用Virtuoso軟件完成CMOS集成運算放大器的版圖設(shè)計，版圖畫完后需采用Design Rules Checker（DRC），按照電路設(shè)計規(guī)則檢查設(shè)計的版圖文件、運行和找出錯誤，并在相應(yīng)版圖位置中做出標記和解釋。在檢查完版圖之后，還需進一步對Electrical Rules Checker（ERC）進行檢查，以查找線路中的短路、開路和浮空結(jié)點，ERC檢查到短路錯誤后將錯誤提示局限在最短的連接通路上。在修正上述版圖、電路連接問題后，仍需使用Layout Versus Schematic（LVS）比較集成電路版圖與其原理報告版圖的連接是否一致，從而進行反復(fù)修改，直到版圖和電路原理圖達成一致。最終在完成集成運算放大器的版圖驗證與電路系統(tǒng)性能后仿的物理驗證工作之后，方可與相關(guān)半導(dǎo)體代工廠聯(lián)系，確定設(shè)計數(shù)據(jù)文件的大小、后端數(shù)據(jù)接口處的端口設(shè)計及其尺寸等，并交付半導(dǎo)體代工廠制備。本實驗環(huán)節(jié)所需課時約6學(xué)時。

最后，將流片后的芯片在邏輯分析儀、混合信號測試儀、半導(dǎo)體參數(shù)分析儀等實驗平臺測試集成電路中器件的電學(xué)參數(shù)和集成運算放大器性能參數(shù)等，并結(jié)合預(yù)實驗的仿真數(shù)據(jù)對比分析，進一步優(yōu)化、改進版圖，以提高集成運算放大器的綜合性能，此實驗環(huán)節(jié)約占3學(xué)時。由于本實驗環(huán)節(jié)受儀器數(shù)量的限制，實驗前需要先把已完成前兩環(huán)節(jié)的實驗學(xué)生分成2～3人一組，將半導(dǎo)體器件與集成電路測試和版圖觀測的實驗平臺安排在一個集成電路測試實驗室，而將邏輯分析儀、混合信號測試儀等電路系統(tǒng)測試儀器等實驗平臺安排在另一個電子電學(xué)測試實驗室，實現(xiàn)不同類別實驗平臺的相互獨立，有助于不同實驗室合理高效地實行開放式實驗。當然不同實驗平臺均有指定能夠熟悉操作的助教研究生協(xié)助，參與實驗的學(xué)生能獨立完成所需測試類型的實驗。實驗結(jié)束后，學(xué)生以書面形式闡述實驗過程、分析測試數(shù)據(jù)、總結(jié)實驗結(jié)果、完成實驗報告。教師針對實驗過程中出現(xiàn)的新現(xiàn)象、新問題，提出問題的查找方向，鼓勵學(xué)生積極探索，查閱課外文獻，提出具有獨到見解的實驗觀點，為理論知識的創(chuàng)新、發(fā)展培養(yǎng)正確的科研方法。同時，也需要對全面開放的專業(yè)實驗教學(xué)模式進行評價和提出建議。

四、結(jié)論

調(diào)查結(jié)果顯示，學(xué)生對這種開放式微電子專業(yè)實驗課程教學(xué)改革積極性較高，認真負責的配合教師、助教研究生完成實驗任務(wù)。與傳統(tǒng)單一、封閉教學(xué)模式相比，本課程教學(xué)改革在原實驗管理員的積極支持下取得了良好的實驗效果，也深受同學(xué)們歡迎，有助于提高同學(xué)們的學(xué)習(xí)興趣和自我學(xué)習(xí)能力。

參考文獻：

[1]劉瑞，伍登學(xué)，鄔齊榮，等.創(chuàng)建培養(yǎng)微電子人才教學(xué)實驗基地的探索與實踐[J].實驗室研究與探索，2004，（5）：6-8，23.

[2]楊依忠，解光軍，易茂祥，等.創(chuàng)建微電子專業(yè)實驗室的探索與實踐[J].實驗技術(shù)與管理，2009，26（12）：137-143.

[3]馬瑤，石瑞英，袁菁，等.開放式專業(yè)實驗教學(xué)模式探索和實踐[J].高等教育發(fā)展研究，2008，25（1）：42-45.

第7篇：半導(dǎo)體工藝培訓(xùn)范文

劉玉嶺教授，博士生導(dǎo)師，第九屆、第十屆、第十一屆全國政協(xié)委員，國家級有突出貢獻中青年專家。他治學(xué)嚴謹，學(xué)風(fēng)正派，創(chuàng)新成果業(yè)績突出：以他為第一發(fā)明人，獲得國家發(fā)明獎5項，省部級科技發(fā)明與進步獎21項，取得發(fā)明專利57項，美國發(fā)明專利3項；出版專著5部，200余篇。他還很注重對學(xué)生的培養(yǎng)，在他的悉心教導(dǎo)下培養(yǎng)碩士、博士、博士后共百余名；以他為學(xué)術(shù)帶頭人的微電子學(xué)科是碩士、博士、博士后等高層次人才培養(yǎng)的省級重點學(xué)科。這一切源于他對祖國科技事業(yè)執(zhí)著追求和孜孜不倦的創(chuàng)新精神。

走近劉玉嶺，看到的是他輝煌的創(chuàng)新歷程：1979年我國引進日本11條IC生產(chǎn)線，其硅襯底拋光材料需要由日本不二見株式會社進口。劉玉嶺看在眼里急在心里，針對該產(chǎn)品黏度大、結(jié)塊、高鈉離子污染環(huán)境等問題，發(fā)明了懸浮性好、無鈉離子、不揮發(fā)、易清洗的FNO-MOS型拋光液，價格僅為日本的十分之一，該成果獲天津科技成果二等獎，國家發(fā)明四等獎；2000年劉玉嶺發(fā)明的以化學(xué)作用絡(luò)合胺化為技術(shù)路線堿性CMP材料與相應(yīng)工藝技術(shù)，低于目前世界花數(shù)億元巨資研發(fā)的電化學(xué)拋光（ECMP）機械壓力的三分之一，為GLSI向45nm以下產(chǎn)業(yè)化發(fā)展做出創(chuàng)造性貢獻，該技術(shù)已獲國家發(fā)明專利54項，克服了占世界主導(dǎo)市場的酸性漿料強機械研磨后溶解機理模型存在的速率低、機械作用大、工藝復(fù)雜等難題；他在“ULSI襯底表面潔凈技術(shù)”研究中，首次提出了優(yōu)先吸附理論及數(shù)學(xué)模型：t=Kr2/f1f2S；發(fā)明了“專用界面活性劑處理晶片表面吸附物技術(shù)”，使吸附物處于物理吸附狀態(tài)的時間延長了30倍以上，并采用集中清洗，提高了效率，節(jié)省了試劑。該技術(shù)已在洛陽740、有研硅股等企業(yè)規(guī)模應(yīng)用，僅刷片機一項，可節(jié)省3936萬元，專家鑒定該項技術(shù)為國際領(lǐng)先水平，獲國家發(fā)明專利，天津市發(fā)明二等獎，國家發(fā)明三等獎，2000年被科技部列為國家級科技成果重點推廣計劃和國家級新產(chǎn)品。目前，新研制的半導(dǎo)體膜電-化清洗技術(shù)應(yīng)用于GLSI清洗工藝，同時去除有機物與金屬離子沾污，既節(jié)能又環(huán)保。

在這些發(fā)明專利中最讓他驕傲的技術(shù)是“FA/O均腐蝕拋光液與拋光技術(shù)”。由于采用自己研發(fā)的多功能強絡(luò)合劑（同時作pH調(diào)節(jié)劑，緩蝕劑），有效控制了重金屬雜質(zhì)沾污，洛陽鼎晶半導(dǎo)體材料公司用此拋光液加工的IC襯底片成為唯一最可靠的“神五”、“神六”、“神七”專用電路硅襯底，為航天事業(yè)作出貢獻，獲國家發(fā)明三等獎，被國家5部委審評為國家級新產(chǎn)品，被國家科委列為國家科技成果重點推廣計劃。

在劉玉玲的科研之路上，一直堅持產(chǎn)學(xué)研用相結(jié)合，他領(lǐng)銜創(chuàng)建了與微電子技術(shù)與材料相結(jié)合的產(chǎn)學(xué)研實體，建立6000噸表面加工耗材生產(chǎn)線，產(chǎn)品已在京、津、滬、浙等十多個省市的引進生產(chǎn)線上取代了進口，進行新技術(shù)培訓(xùn)1000余人次。臺灣廣潤科技公司、臺灣弘弦科技公司、國家工程物理九院、洛陽空空導(dǎo)彈研究院、電子45所等眾多企業(yè)與他簽訂了技術(shù)協(xié)議。他還是國家中長期科技發(fā)展重大專項項目、國家重點安全基金NSAF等項目的技術(shù)負責人。他長期為大中企業(yè)的第一線解決新技術(shù)問題。在科研成果推廣中培訓(xùn)技術(shù)人員1000余人次。

劉玉嶺教授作為我國微電子技術(shù)與材料CMP超精細領(lǐng)域技術(shù)帶頭人，在國內(nèi)外享有較高的聲譽。國際CMP耗材最有影響的多家專業(yè)公司多次提出買斷該技術(shù)，目前由中芯國際支持的以劉玉嶺教授為負責人的國家重大專項“極大規(guī)模集成電路平坦化材料與技術(shù)”已進入產(chǎn)業(yè)化階段，產(chǎn)品在理論、方法、路線和材料方面均實現(xiàn)了創(chuàng)新，性能提高，工藝簡化，成本低，環(huán)境友好。2012年獲國家02專項驗收成績優(yōu)秀，該團隊成為100多個承擔項目單位中五個優(yōu)秀團隊之一。硅、藍寶石等產(chǎn)品已在中國華晶、華微等30多條引進生產(chǎn)線上規(guī)模化應(yīng)用，代替進口產(chǎn)品，取得經(jīng)濟效益超過億元。劉玉嶺教授無疑是科學(xué)家，但他同時又是企業(yè)家、實干家，他的創(chuàng)新之光照耀中國走向世界的同時，也為祖國帶來了巨大的經(jīng)濟效益。

第8篇：半導(dǎo)體工藝培訓(xùn)范文

獨立學(xué)院作為本科教學(xué)型院校，以服務(wù)當?shù)亟?jīng)濟社會發(fā)展，培養(yǎng)工程應(yīng)用型人才為目標，在“卓越工程師培養(yǎng)計劃” 指導(dǎo)下，培養(yǎng)的人才應(yīng)定位于面向工程設(shè)計、施工和管理第一線，要求學(xué)生既具有比較扎實的理論基礎(chǔ)和文化素質(zhì)，又要具有較強的靈活應(yīng)用所學(xué)知識解決工程實踐問題的能力和創(chuàng)新精神，在人才培養(yǎng)模式和課程改革方面更應(yīng)注重突出專業(yè)特點，并與行業(yè)需求緊密結(jié)合，體現(xiàn)卓越工程師培養(yǎng)的目標。[2]

半導(dǎo)體照明技術(shù)是傳統(tǒng)光源與照明技術(shù)的一次革命，其技術(shù)發(fā)展迅速、應(yīng)用領(lǐng)域廣泛、產(chǎn)業(yè)帶動性強、節(jié)能潛力大，被各國公認為是最有發(fā)展前景的高效照明技術(shù)，半導(dǎo)體照明產(chǎn)業(yè)也是我國當前的戰(zhàn)略性新興產(chǎn)業(yè)，它是光源與照明產(chǎn)業(yè)的當展形態(tài)，LED照明產(chǎn)品正在逐步取代傳統(tǒng)照明產(chǎn)品，美國市場研究公司Markets and Markets最新報告預(yù)計全球半導(dǎo)體固態(tài)照明（SSL）市場將于2018年達到567.9億美元，2013年至2018年的復(fù)合年增長率將達18.7%。[3]但是，由于產(chǎn)業(yè)發(fā)展速度過快，半導(dǎo)體照明產(chǎn)業(yè)正面臨專門技術(shù)人才嚴重缺失的局面。眾所周知，高等教育傳授的知識技能往往滯后于快速發(fā)展的產(chǎn)業(yè)應(yīng)用技術(shù)，高校培養(yǎng)的適合新興產(chǎn)業(yè)的專業(yè)技術(shù)人才相對較少，在照明領(lǐng)域，我國原來只有少數(shù)高校培養(yǎng)了傳統(tǒng)照明專業(yè)的畢業(yè)生，因此，目前我國半導(dǎo)體照明產(chǎn)業(yè)發(fā)展所需的大量新型照明專業(yè)技術(shù)人才供給嚴重不足，而作為重點發(fā)展照明產(chǎn)業(yè)的中山市，專業(yè)人才缺失的矛盾更加突出。作為中山市地方高校，我們適時進行了光源與照明專業(yè)方向的建設(shè)，并以培養(yǎng)半導(dǎo)體照明產(chǎn)業(yè)卓越工程師為目標，不斷完善人才培養(yǎng)體系。

一、結(jié)合地方產(chǎn)業(yè)特色構(gòu)建和完善專業(yè)人才培養(yǎng)體系

1.準確定位適合本校的“卓越計劃”專業(yè)人才培養(yǎng)體系

“卓越計劃”的主要目標是：面向工業(yè)界、面向未來、面向世界，培養(yǎng)造就一大批創(chuàng)新能力強、適應(yīng)經(jīng)濟社會發(fā)展需要的高質(zhì)量各類型工程技術(shù)人才，為建設(shè)創(chuàng)新型國家、實現(xiàn)工業(yè)化和現(xiàn)代化奠定堅實的人力資源優(yōu)勢，增強我國的核心競爭力和綜合國力。其指導(dǎo)思想在于以社會需求為導(dǎo)向，以實際工程為背景，以工程技術(shù)為主線，著力提高學(xué)生的工程意識、工程素質(zhì)、工程實踐和創(chuàng)新能力。具體到“卓越計劃”的實施層面，由于我國高校存在不同的類型和層次，具有多樣性，每個學(xué)校各具特色；行業(yè)和社會對工程人才的需求也具有多樣性，不同類型、不同層次的工程人才的培養(yǎng)要求隨著經(jīng)濟的發(fā)展和社會的進步而不斷提高和變化。因此，不同的高校和專業(yè)在實施“卓越計劃”的時候需要選擇最適合自己的目標、層次和類型。

在“卓越計劃”指導(dǎo)下，作為地方高校，我們在培養(yǎng)光源與照明專業(yè)人才時既要兼顧到照明行業(yè)整體的需求，又要將地方照明產(chǎn)業(yè)的特色需求作為工作重點，積極探索和完善人才培養(yǎng)模式，構(gòu)筑本校專業(yè)建設(shè)的特色。這么做既能認清本學(xué)校和本專業(yè)的人才培養(yǎng)定位，根據(jù)現(xiàn)有的師資和實踐條件重點培養(yǎng)具有重點技能的專業(yè)人才，同時，也能夠達到為區(qū)域經(jīng)濟發(fā)展作出應(yīng)有貢獻的目的。

2.制定適合本校的“卓越計劃”專業(yè)人才培養(yǎng)目標

“卓越計劃”要求各高校遵循工程人才培養(yǎng)定位的原則，即服務(wù)面向原則、辦學(xué)層次原則、自身優(yōu)勢原則和未來需求原則，才能準確地找到適合本校的“卓越計劃”的人才培養(yǎng)定位，并體現(xiàn)在適合本校的“卓越計劃”專業(yè)人才培養(yǎng)目標上。

半導(dǎo)體照明產(chǎn)業(yè)作為光源與照明產(chǎn)業(yè)的當展形態(tài)，包含了材料、芯片、封裝和照明產(chǎn)品集成應(yīng)用等多個分支，在這些工程分支中涵蓋了多個學(xué)科的專業(yè)知識，如材料學(xué)、微電子與固體電子學(xué)、光學(xué)、熱學(xué)、智能控制、機械設(shè)計等諸多方面，這使得半導(dǎo)體照明專業(yè)成為一門綜合性的交叉學(xué)科。目前國內(nèi)大量需要LED照明相關(guān)領(lǐng)域的人才，比如研發(fā)類人才涉及LED光學(xué)系統(tǒng)研發(fā)、散熱系統(tǒng)研發(fā)、LED專門電源研發(fā)、控制系統(tǒng)研發(fā)等；其他領(lǐng)域如LED照明產(chǎn)品的制造、材料、銷售、市場等眾多領(lǐng)域也都需要相關(guān)的專業(yè)人員，因此，半導(dǎo)體照明產(chǎn)業(yè)需要的是多元化的人才，既要產(chǎn)品研發(fā)人才、工程設(shè)計人才，又要市場營銷人才、高級管理人才，特別是既懂技術(shù)又懂管理、照明文化的復(fù)合型人才。[4]中山市作為世界燈飾之都，是我國重要的照明產(chǎn)品生產(chǎn)制造基地，現(xiàn)已形成了LED器件封裝、LED照明燈具設(shè)計與制造、LED照明與顯示工程設(shè)計與應(yīng)用等優(yōu)勢產(chǎn)業(yè)集群，據(jù)統(tǒng)計，2012年，中山市現(xiàn)代照明產(chǎn)業(yè)集群實現(xiàn)總產(chǎn)值超過650億元，占全市工業(yè)總產(chǎn)值的比例近15%，銷售收入628億元，上交利稅28.5億元，稅后利潤72億元，出口創(chuàng)匯36億美元，其中LED照明企業(yè)數(shù)量已超過1200家，含近100家規(guī)模以上企業(yè)，LED照明企業(yè)從業(yè)人員超過7萬人，2012年LED照明企業(yè)產(chǎn)值達到356.5億元，同比增長55%。2013年上半年，中山市LED燈具出口批次和貨值同比分別增長了136.2%和119.8%，而從2012年下半年開始，中山市傳統(tǒng)照明產(chǎn)品的出口卻一直呈下降趨勢，可見，LED照明產(chǎn)業(yè)正在較快取代傳統(tǒng)照明產(chǎn)業(yè)，與此相應(yīng)，半導(dǎo)體照明產(chǎn)業(yè)正日益成為中山市乃至廣東省的新興支柱產(chǎn)業(yè)。[5]經(jīng)過到企業(yè)的多次實地調(diào)研發(fā)現(xiàn)，中山從事半導(dǎo)體照明產(chǎn)品研發(fā)、生產(chǎn)、銷售及其配套的各類企業(yè)日益壯大，需要大量照明專業(yè)人才，尤其是LED照明設(shè)計和工程應(yīng)用型專業(yè)人才，因此，作為中山市地方高校，我們在光源與照明專業(yè)建設(shè)工作中，需要遵循“卓越計劃”原則，結(jié)合中山市LED產(chǎn)業(yè)發(fā)展特色，將專業(yè)人才培養(yǎng)目標定位在重點培養(yǎng)學(xué)生成為LED照明設(shè)計和工程應(yīng)用型專業(yè)人才上。

3.專業(yè)基礎(chǔ)課程設(shè)置

根據(jù)現(xiàn)階段光源與照明產(chǎn)業(yè)發(fā)展對人才培養(yǎng)提出的要求，地方高校的專業(yè)建設(shè)工作應(yīng)從兩方面展開，一方面基于照明行業(yè)的需求和發(fā)展態(tài)勢，在專業(yè)建設(shè)中首先需要重視專業(yè)基礎(chǔ)課程的設(shè)置，任何產(chǎn)業(yè)的發(fā)展都有發(fā)生、發(fā)展、、衰落的過程 ，LED照明產(chǎn)業(yè)也是如此，為了適應(yīng)這一點，培養(yǎng)學(xué)生應(yīng)首先著眼于他們對學(xué)科基礎(chǔ)有較廣泛和深入的積淀，為他們打下堅實的基礎(chǔ)。作為地方高校，定位是培養(yǎng)應(yīng)用型高級工程技術(shù)人才，首先要求學(xué)生能夠具備合理的知識結(jié)構(gòu)和扎實的基礎(chǔ)。光源與照明專業(yè)隸屬于電子科學(xué)與技術(shù)大類，因此要求學(xué)生系統(tǒng)掌握電子科學(xué)與技術(shù)專業(yè)領(lǐng)域比較寬廣的基礎(chǔ)理論知識，在專業(yè)基礎(chǔ)課程設(shè)置上配齊電子信息專業(yè)基礎(chǔ)課程，包括：模擬和數(shù)字電子技術(shù)、電路分析、信號與系統(tǒng)、微處理器原理與接口技術(shù)、高級語言程序設(shè)計、電磁場與電磁波、高頻電子線路等。其次，結(jié)合照明產(chǎn)業(yè)實際需要，學(xué)生需要掌握半導(dǎo)體物理和器件的基本理論和實驗技術(shù)，掌握集成電路的設(shè)計、制造及測試方法，掌握照明用光源及照明工程相關(guān)的基礎(chǔ)理論知識與技術(shù)，因此，我們在專業(yè)基礎(chǔ)課程方面設(shè)置了半導(dǎo)體物理、微電子器件、應(yīng)用光學(xué)等課程。另外，結(jié)合中山市半導(dǎo)體照明產(chǎn)業(yè)在產(chǎn)品設(shè)計、工程應(yīng)用、器件封裝等方面的特色需求，設(shè)置了照明系統(tǒng)設(shè)計、照明光源驅(qū)動技術(shù)、照明檢測技術(shù)、照明工程技術(shù)、集成電路封裝與測試等專業(yè)課程。通過這一系列課程的設(shè)置，培養(yǎng)學(xué)生具備半導(dǎo)體照明產(chǎn)品的設(shè)計、開發(fā)、制造、智能化控制、產(chǎn)品檢測、技術(shù)管理等領(lǐng)域的實際工作能力，接受半導(dǎo)體照明工程和系統(tǒng)設(shè)計等工程實踐的基本訓(xùn)練，以便他們能夠具備在半導(dǎo)體照明產(chǎn)業(yè)領(lǐng)域尤其是在當?shù)貎?yōu)勢產(chǎn)業(yè)領(lǐng)域工作的各方面基本專業(yè)技能，為他們在半導(dǎo)體照明產(chǎn)業(yè)領(lǐng)域具備良好的工程意識和工程素質(zhì)打下扎實的基礎(chǔ)，這些工作切實符合“卓越計劃”的人才培養(yǎng)目標。

4.專業(yè)實踐課程設(shè)置

“卓越計劃”要求著力培養(yǎng)人才的工程實踐和創(chuàng)新能力，因此，專業(yè)實踐課程設(shè)置對培養(yǎng)工程化人才至關(guān)重要。為了與“卓越計劃”人才培養(yǎng)目標和本校的人才培養(yǎng)定位相匹配，在光源與照明專業(yè)建設(shè)中，我們主要設(shè)置兩方面的實踐課程內(nèi)容，一方面是專業(yè)基礎(chǔ)課程的課內(nèi)實踐環(huán)節(jié)內(nèi)容，包括模擬和數(shù)字電子技術(shù)、電路分析、高頻電子線路、集成電路工藝基礎(chǔ)、MATLAB工具軟件等專業(yè)基礎(chǔ)課的課內(nèi)實驗或上機操作等，另外還設(shè)有照明設(shè)計等專業(yè)實踐課程以及綜合性設(shè)計實驗課程，這些課程通過課堂可以對學(xué)生的工程實踐和創(chuàng)新能力、獨立分析和解決問題的能力進行初步的訓(xùn)練。另外一方面，“卓越計劃”特別強調(diào)學(xué)生到企業(yè)中的學(xué)習(xí)和工程實踐階段，在此階段，學(xué)校和企業(yè)共同設(shè)計培養(yǎng)目標，制定培養(yǎng)方案，共同實施培養(yǎng)過程。為此，我們設(shè)置了校企合作培養(yǎng)計劃，在合作企業(yè)的選擇上，根據(jù)中山市半導(dǎo)體照明行業(yè)的發(fā)展特色，充分利用了一些優(yōu)勢企業(yè)資源，與一些骨干企業(yè)合作建立了半導(dǎo)體照明人才培養(yǎng)、培訓(xùn)、實習(xí)基地，這些骨干企業(yè)包括以照明系統(tǒng)和產(chǎn)品設(shè)計生產(chǎn)見長的中山泰騰燈飾有限公司、中山鴻寶電業(yè)有限公司，以照明系統(tǒng)工程設(shè)計與應(yīng)用見長的中山華藝燈飾照明股份有限公司、中山達華智能科技股份有限公司，以LED器件封裝見長的木林森股份有限公司，以照明檢測見長的國家燈具質(zhì)量監(jiān)督檢驗中心（中山）等。這些骨干企業(yè)在各自的特長領(lǐng)域具有生產(chǎn)和研發(fā)的優(yōu)勢資源，通過與他們合作，能夠進行優(yōu)勢互補，整合出適合當?shù)卣彰鳟a(chǎn)業(yè)發(fā)展需求的一套完善的企業(yè)實踐培養(yǎng)體系，實現(xiàn)多個企業(yè)優(yōu)勢資源的有機結(jié)合，學(xué)生在這些優(yōu)勢實踐平臺中循環(huán)流動，可以受到比較全面的專業(yè)工程實踐鍛煉，并且能突出重點，培養(yǎng)他們的重點技能，迎合當?shù)卣彰鳟a(chǎn)業(yè)的重點需求。與此同時，也能夠發(fā)揮高校在科研上的優(yōu)勢，尋求與企業(yè)合作研發(fā)的契合點。總之，通過實施企業(yè)階段合作培養(yǎng)方案，學(xué)生的專業(yè)知識和專業(yè)技能能夠更加切合當前的產(chǎn)業(yè)需求，高校能夠盡快把握產(chǎn)業(yè)發(fā)展動態(tài)，及時調(diào)整教學(xué)培養(yǎng)方案，企業(yè)能夠及時得到高校的研發(fā)力量支持，高校幫助解決生產(chǎn)中所遇到的問題，達到三方共贏的結(jié)果。

二、結(jié)語

“卓越計劃”是促進我國由工程教育大國邁向工程教育強國的重大舉措，也是地方高校進行專業(yè)建設(shè)的重要指引，我們在光源與照明專業(yè)建設(shè)工作中，通過以上幾個方面的努力，正在逐步形成符合“卓越計劃”要求的專業(yè)人才培養(yǎng)體系。當前，半導(dǎo)體照明產(chǎn)業(yè)作為戰(zhàn)略新興產(chǎn)業(yè)正迅猛向前發(fā)展，對專業(yè)人才的需求緊迫而旺盛，因此，高校也要加快建設(shè)和完善專業(yè)人才培養(yǎng)體系，努力做到高質(zhì)量的人才培養(yǎng)與旺盛的人才需求之間的對接，從而為地方經(jīng)濟和社會發(fā)展提供有效服務(wù)。

參考文獻：

[1]張韋韋.教育部啟動實施“卓越工程師教育培養(yǎng)計劃”[J].教育與職業(yè)，2010，（7）：2O.

[2]林健.“卓越工程師教育培養(yǎng)計劃”專業(yè)培養(yǎng)方案研究[J].清華大學(xué)教育研究，2011，（4）：47-55.

[3]美國預(yù)測2018年全球固態(tài)照明市場將達567.9億美元[EB/OL].http：//china-led.net/info/20130912/1926.shtml.

第9篇：半導(dǎo)體工藝培訓(xùn)范文

佟存柱，1976年3月生于吉林伊通縣，現(xiàn)任中國科學(xué)院長春光學(xué)精密機械與物理所研究員，博士生導(dǎo)師，中科院“百人計劃”入選者。

尋找最適合的事業(yè)方向

佟存柱與物理有著與生俱來的緣分。他從小就對機械、儀表、電路等物理器件有著極高的感悟能力，他的物理課成績也一直在學(xué)校名列前茅。高考時，接近滿分的物理成績使他毫無懸念地進入了重慶大學(xué)物理系。四年之后，佟存柱考取了重慶大學(xué)應(yīng)用物理系與中國科學(xué)院聯(lián)合培養(yǎng)的研究生。在重慶大學(xué)學(xué)習(xí)一年以后，佟存柱來到了中科院理化所的低溫中心，而隨著低溫中心并入中科院物理所，他又開始了在中科院物理所的學(xué)習(xí)和研究工作。

從2000年第一次踏入中科院，佟存柱就與其結(jié)下了不解之緣。他曾先后在中科院四個研究所學(xué)習(xí)和工作，包括中科院理化所低溫中心、中科院物理所、中科院半導(dǎo)體所和中科院長春光學(xué)精密機械與物理所。

談及四個研究所的文化底蘊，往昔生活浮現(xiàn)眼前，佟存柱回憶說，“中科院物理所以基礎(chǔ)研究為主，老一輩科學(xué)家的兢兢業(yè)業(yè)、嚴謹求實的精神時刻激勵著我，也是我內(nèi)心永遠銘記的榜樣。物理所另一個文化則是合作，很多成果是通過各部室合作取得，這一點讓我深刻領(lǐng)會到合作對事業(yè)發(fā)展的重要性。中科院半導(dǎo)體所則把我?guī)肓税雽?dǎo)體激光器這個領(lǐng)域，這也是我目前一直所從事的研究方向。而中科院長春光學(xué)精密機械與物理所是一家偏重工程應(yīng)用的研究所，該所最大的特點是重實際應(yīng)用、上下團結(jié)、科學(xué)管理?！?/p>

從碩士到博士，佟存柱積累了厚重的學(xué)科知識，收獲了豐富的科研思想。為了掌握更尖端的技術(shù)，2005年佟存柱以研究員的身份來到新加坡南洋理工大學(xué)電子工程學(xué)院。這期間，他的主要工作是帶一個小的團隊，負責量子點材料與器件研究。佟存柱帶領(lǐng)幾個博士組成的研究小組，在低維納米材料外延生長、量子點邊發(fā)射激光器和垂直腔面發(fā)射激光器等課題的研究取得了出色戰(zhàn)果，先后提出了量子點全路徑弛豫速率方程模型，設(shè)計并研制出1.3μmp型調(diào)制摻雜量子點垂直腔面發(fā)射激光器。這些項目在國際上都是有難度的，他們正是憑著初生牛犢的韌勁和勇氣取得了令人刮目的成果。佟存柱自豪地說，那些器件的設(shè)計和制備難度極高，我們是通過超常規(guī)的辦法才取得了成功的。

為了尋找更廣闊的成長空間，佟存柱離開新加坡來到了大洋彼岸的加拿大。2009年8月，佟存柱加入加拿大多倫多大學(xué)電子與計算機工程系。多倫多大學(xué)是光子晶體技術(shù)的最權(quán)威的研究機構(gòu)之一。佟存柱來到多倫多大學(xué)，主要從事片上集成的量子光源的研究。2009年，多倫多大學(xué)研制出來一個較好的光源，佟存柱的任務(wù)是進一步改善光源的性能。他通過一些理論上的設(shè)計，工藝上的改進，研制出單缺陷模式工作的布拉格反射波導(dǎo)光子晶體激光光源，實現(xiàn)了溫度不敏感的連續(xù)單缺陷模式工作，這在當時是一個相當高的性能。

佟存柱在深造的同時，也在不斷地尋找最適合自己的事業(yè)方向。他心里總有一種渴望，就是讓自己的才干直接為國家的發(fā)展貢獻力量。剛開始，他并不是做半導(dǎo)體研究的，在大學(xué)里所學(xué)的專業(yè)則是物理。然而，以他的聰明才智，完全能在基礎(chǔ)科學(xué)研究上有所建樹。但是，佟存柱卻有他自己的想法。他說，雖然純科學(xué)與技術(shù)都很重要，但是技術(shù)研究對市場、對社會進步的貢獻更直接一些，技術(shù)能更快的轉(zhuǎn)化成生產(chǎn)力，因此，他更愿意從事技術(shù)研究。

報效祖國是最大的愿望

佟存柱的科研能力得到了國外專家的肯定。他在國外的事業(yè)也得以順利發(fā)展，在生活上站住了腳跟，在科研上有了一席之地。并且，對于他這樣的研究人員，在國外有更好的發(fā)展環(huán)境和更廣闊的發(fā)展空間。佟存柱說，在國外的生活遠沒有像國內(nèi)這樣緊張，生活更輕閑。如果是在國外，佟存柱會常有時間和家人、朋友一起度假，但現(xiàn)在，他卻是在實驗室加班加點地工作。是什么使他放棄國外的生活，義無反顧地回到國內(nèi)？佟存柱笑著說，自己是思鄉(xiāng)情結(jié)比較濃郁的一類人，他總覺得，在國外做得再好，也是為自己，不是為國家；不過，這只是一方面，促使他回國的最重要的原因就是，在國外這幾年感覺到，中國發(fā)展非?？?，中國的騰飛在21世紀是不可阻擋的，作為炎黃子孫，他希望自己能夠投身其中，親身經(jīng)歷這個偉大的崛起。如果置身事外，那將是一個海外華人最大的遺憾。從技術(shù)發(fā)展的角度來說，未來的中國肯定會走在世界的前沿?！拔一貋硪院鬀]有選擇去大城市，而是選擇到了長春，是因為我認為一個人的成就不是取決于在大城市還是小城市，幸福與成功都在于自己對生活和事業(yè)的經(jīng)營。另一個重要的原因是中科院長春光機所給我的觸動，所里領(lǐng)導(dǎo)層的團結(jié)奮進、求真務(wù)實，以及對人才的重視，讓我感覺這是一個真正做事業(yè)的地方?！辟〈嬷缡钦f。

2010年，佟存柱放棄了國外舒適的工作環(huán)境，回國發(fā)展，來到中科院長春光機所?！八锏奈幕屛业乃枷氚l(fā)生了很大轉(zhuǎn)變，我深刻意識到科研成果的表現(xiàn)形式不僅僅是文章、專利，更重要的是實實在在的為國家、社會、經(jīng)濟有所貢獻的應(yīng)用?！笨茖W(xué)要變成生產(chǎn)力，必須要通過技術(shù)的渠道。這是長春光機所的理念與文化，也是佟存柱的科研驅(qū)動力。因此他目前所承擔的絕大多數(shù)項目都具有明確、具體的應(yīng)用目的，追求的最終目標就是能“用上”。

“現(xiàn)在我國在基礎(chǔ)科學(xué)方面投入的力量是比較大的，但是在科研成果的轉(zhuǎn)化和技術(shù)的應(yīng)用方面還存在著薄弱環(huán)節(jié)?！辟〈嬷蜗蟮乇扔髡f，“這好比是一場馬拉松，我們已經(jīng)跑到了最后100米，就差一點就成功了，可是就停在那里不動了。這是非常令人遺憾的。我們做應(yīng)用技術(shù)的，就是要解決應(yīng)用技術(shù)的‘最后100米’的問題，使我們的科學(xué)技術(shù)能最終在國家經(jīng)濟社會發(fā)展等方面派上用場?！?/p>

激光研究的豐碩成果

佟存柱目前從事的研究方向為光子晶體激光器。佟存柱告訴記者，光子晶體是一種特殊的光波導(dǎo)，它采用光子頻率帶隙原理進行導(dǎo)波，其原理類似于半導(dǎo)體中的能帶理論，通過它可以實現(xiàn)光的無損耗傳播、高品質(zhì)激光諧振腔、高效率光限制等。目前光子晶體技術(shù)已經(jīng)被認為是電磁波領(lǐng)域的一個重大突破，并正在光學(xué)、光電子學(xué)、信息科學(xué)等領(lǐng)域中引起革命性變革。

佟存柱團隊的研究側(cè)重于采用光子晶體波導(dǎo)改善半導(dǎo)體激光的發(fā)散角、光束質(zhì)量和效率，而不僅僅是光子晶體本身。半導(dǎo)體激光器是目前應(yīng)用最為廣泛的一種激光器，它具有體積小、重量輕、效率高、電驅(qū)動等特點。但也具有突出的缺點，主要是出光光斑呈橢圓形，垂直方向發(fā)散角高達45°，水平方向10°，無法良好地會聚，光束質(zhì)量差，這成為了限制其應(yīng)用的一個主要問題。雖然光束整形技術(shù)能夠有效改善光束質(zhì)量，但它更多的是通過平衡兩個方向的光束質(zhì)量因子，獲得一個近圓形光斑輸出。要想從根本上解決半導(dǎo)體激光器光束質(zhì)量問題，還得從器件本身人手。

談到自己的研究成果，佟存柱自信地說，“現(xiàn)在我們對這個項目非?？春谩Ｎ覀円呀?jīng)將發(fā)散角降低到7.5度，圓形光束出光，在同等價格的情況下，我們的激光器在發(fā)散角性能上比現(xiàn)在市場上的性能要好的多，而且我們器件在性能上還有很大的改善空間。器件的核心結(jié)構(gòu)已經(jīng)獲得國家發(fā)明專利授權(quán)，這為該類技術(shù)擁有自主知識產(chǎn)權(quán)奠定了有力基礎(chǔ)?！?/p>

由于在激光研究領(lǐng)域的出色成績，2010年9月，佟存柱入選中科院“百人計劃”，2011年獲得吉林省創(chuàng)新創(chuàng)業(yè)人才計劃和吉林省人才開發(fā)基金資助。先后在IEEEJ.QuantumElectron，IEEEJ.Select，TopicsQuantumElectron，等期刊上發(fā)表學(xué)術(shù)論文50余篇，被SCI收錄24篇，EI收錄36篇，授權(quán)中國專利3項，受理中國發(fā)明專利申請5項。目前主持國家自然科學(xué)基金項目兩項，中科院“百人計劃”項目一項，中國科學(xué)院知識創(chuàng)新工程領(lǐng)域前沿項目一項，以及國家國際科技合作專項一項，并作為課題負責人負責國家重點基礎(chǔ)研究發(fā)展計劃項目子課題一項。

佟存柱進一步解釋到，“我們主要解決和面對實際應(yīng)用中的重大技術(shù)問題，也正因此，一旦解決，前景很廣闊。下一步我們要在現(xiàn)有基礎(chǔ)上，把發(fā)散角進一步降低。這是本課題的重點，納入了中科院百人計劃。中科院現(xiàn)在提出一個定位，三個突破，五個培育，我們作為一個小的科研單元和個人，也要有所定位，有所突破。因此，我們科研組還擬定了高性能芯片的研究項目。比如研究更低閾值的半導(dǎo)體激光器，讓它稍微加一點電流就能發(fā)出激光來。這是剛獲國家批準的重大科技研究的課題項目?！?/p>

這個有什么用途呢？佟存柱告訴記者，“現(xiàn)在互聯(lián)網(wǎng)傳輸?shù)男畔⑻嗔耍畔鬏斨行男枰贾么罅康挠嬎銠C，還有大型計算機等等，用電量高得驚人，有人就提出用光學(xué)的方法來處理信息，這就需要高質(zhì)量的激光技術(shù)與設(shè)備，比如極低閾值激光器、單光子光源技術(shù)等，用電量很小，有一點點電就能發(fā)光。這也符合綠色節(jié)能環(huán)保的理念。目前，我國的一些科研機構(gòu)正在研究量子通訊、量子計算技術(shù)，用于信息保密傳輸?shù)龋@方面已經(jīng)取得了世界領(lǐng)先的進展。但是領(lǐng)域內(nèi)缺少一種質(zhì)量穩(wěn)定可靠的單光子光源。這正是我們現(xiàn)有研究條件能夠去做的一件事，所以我們和他們合作，幫他們在做這個光源。另一方面就是能在國防戰(zhàn)略方面發(fā)揮很大作用的中紅外的光源。我們現(xiàn)在主要是要解決功率和光束質(zhì)量這兩個問題。佟存柱說，現(xiàn)在我們的激光器總體上與發(fā)達國家的技術(shù)還有一些差距，但部分參數(shù)已經(jīng)領(lǐng)先，我們有信心，隨著更多科技人才的加入，我們的技術(shù)水平會很快提升到一個新的水平。這些都是能夠彌補國內(nèi)技術(shù)空白的內(nèi)容，而且是國家急需的項目。

大功率的半導(dǎo)體激光器的應(yīng)用范圍非常廣泛，比如說在國防、醫(yī)療、工業(yè)加工等多個領(lǐng)域，都可以用到我們研制出來的激光器。另外我們的技術(shù)還有一個好處，就是它是一種波導(dǎo)技術(shù)，不光可以用于一種增益介質(zhì)，換一種發(fā)光材料，換一個波長也可以用。量子點材料和納米光子材料主要是朝向量子光學(xué)的方向發(fā)展，比如量子計算、保密通訊等等。量子點材料可以給他們提供光源。如果我們做集成設(shè)備，需要非常小的器件，納米光學(xué)器件就可以用來改善其性能。我們現(xiàn)在的工藝設(shè)備已經(jīng)可以滿足這方面研究要求了?！?/p>

成功秘訣在永不言棄

談及科研道路上攀登的艱難。佟存柱感慨地講起他曾經(jīng)遇到過的重重困難。對于科技工作者來說，最大的困難存在于設(shè)想與實現(xiàn)之間。往往設(shè)計的器件，做出來卻不是想象的那個樣子。比如說我們現(xiàn)在做的這個器件。在最初的時候，按照我們的設(shè)計，激光器的確是激射了，但是出來的東西并不是我們想要的。也就是說，我們設(shè)計的是一個模式，可是出來的卻是另外的一個模式在工作。問題到底出在哪里？我們反復(fù)計算也找不到根源。這個問題困擾了我們一段時間。但是我們沒有氣餒，晝思夜想，一直堅持查找，一個環(huán)節(jié)一個環(huán)節(jié)地過篩子，終于解決了困難。這也給我們提供了一個寶貴的經(jīng)驗，就是正面地面對困難，堅持再堅持，不要自我否定，說這個肯定做不出來。我們可以跑得比別人慢，但是我們決不放棄。這就和打仗一樣，放棄就等于逃兵，放棄就意味著失敗。然而，就算你放棄了，問題還在那里，不會得到解決。只有白天想，晚上想，吃飯想，睡覺想，才會有那么一瞬間，靈光閃現(xiàn)，找到突破口。現(xiàn)在科學(xué)技術(shù)已經(jīng)高度發(fā)展了，某一領(lǐng)域短時間取得大的突破是很困難的，很有可能我們付出了極大的努力，只取得了一點點進展，但是這些小小的進展不斷地疊加起來，就會是很大的進步。他說，我們之所以能夠研制出技術(shù)領(lǐng)先的激光器，就是因為我們認準方向之后就踏踏實實地做，不浮躁、不跟風(fēng)，不是盲目追隨所謂的熱點課題，真正的面對應(yīng)用。

科研項目成功的背后，肯定有一個優(yōu)秀的團隊。科學(xué)研究的每一個進展，都和團隊的通力合作分不開。佟存柱的團隊里目前有兩個博士，三個碩士，還有幾個研究人員。在組建的時候，佟存柱就根據(jù)他們的特長，給每個人確定了分工和發(fā)展方向，發(fā)展方向是互不沖突的，這給他們留下了足夠的發(fā)展空間。這能夠保證他們每個人都負責一個小的方向，同時還能夠互相合作。在管理上，團隊更是有一整套很細致的管理方案，團隊十分重視管理和培訓(xùn)，力爭讓每一個人掌握研究所的工藝設(shè)計流程與技術(shù)。

佟存柱還吸取了國外的先進的管理理念，給團隊以足夠的交流時間。團隊每兩周都有定期的交流會，他們不光交流專業(yè)知識，還組織學(xué)習(xí)專業(yè)以外的知識，如時間管理、溝通技巧、成功學(xué)等。團隊還提供一些勵志的書、時間管理的書，幫助年輕學(xué)者樹立良好的思想情操和行為習(xí)慣，提高他們的全面素質(zhì)，為他們今后的成長打下基礎(chǔ)。佟存柱強調(diào)說“為了建立年輕學(xué)者的時間觀念，我有意給他們定下精確的完成時間，要求必須按時完成，促使他們培養(yǎng)良好的時間管理習(xí)慣。有關(guān)專業(yè)知識是可以通過突擊補上來，但是思想方法與行為習(xí)慣，確實需要在平時多磨練?！?/p>