微細(xì)加工技術(shù)雜志簡介
《微細(xì)加工技術(shù)》雜志創(chuàng)刊于1983年，是國家科委和國家新聞出版署批準(zhǔn)，國內(nèi)外公開發(fā)行的中央級重要科技期刊。
微細(xì)加工技術(shù)雜志欄目設(shè)置
本刊綜述、電子束技術(shù)、離子束技術(shù)、光子束技術(shù)、薄膜技術(shù)、微機械加工技術(shù)、納米技術(shù)。
微細(xì)加工技術(shù)雜志榮譽信息
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（五）標(biāo)題層次一級標(biāo)題用“一、二、……”來標(biāo)識，二級標(biāo)題用“（一）、（二）、……”來標(biāo)識，三級標(biāo)題用“1.2.”來標(biāo)識，四級標(biāo)題用“（1）、（2）”來標(biāo)識。一般不宜超過4層。標(biāo)題行和每段正文首行均空二格。各級標(biāo)題末尾均不加標(biāo)點。
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微細(xì)加工技術(shù)雜志范例
0.1微米電子束曝光機成像系統(tǒng)的計算
激光直寫系統(tǒng)制作掩模和器件的工藝
LIGA技術(shù)制作Fresnel波帶片的研究
金屬型場發(fā)射陣列的研究
一種微摩擦力光學(xué)測試方法
SU-8環(huán)氧樹脂的分離實驗研究
利用等離子體表面預(yù)處理改善光掩模IP膠顯影工藝特性
多層薄膜微結(jié)構(gòu)熱應(yīng)力計算
脈沖電鍍制備硅基細(xì)晶鎳鐵合金薄膜
PECVD法制備的ZnO薄膜結(jié)晶性能的影響
采用氨化技術(shù)制備成簇生長的光滑線狀氮化鎵
痕量爆炸物爆燃探測敏感元件的結(jié)構(gòu)設(shè)計
新型壓電微噴的研制
硅柵干法刻蝕工藝中腔室表面附著物研究
MEMS微電磁驅(qū)動器磨損對光開關(guān)性能的影響分析
微細(xì)加工技術(shù)雜志發(fā)文分析
主要資助課題分析
| 資助課題 | 涉及文獻 |
| 國家自然科學(xué)基金(90307003) | 13 |
| 山東省自然科學(xué)基金(Y2003G03) | 12 |
| 國家重點基礎(chǔ)研究發(fā)展計劃(2003CB716204) | 7 |
| 國家自然科學(xué)基金(59671051) | 7 |
| 山東省科技攻關(guān)計劃(022090105) | 7 |
| 國家高技術(shù)研究發(fā)展計劃(2004AA404260) | 5 |
| 國家高技術(shù)研究發(fā)展計劃(2003AA404150) | 4 |
| 國家自然科學(xué)基金(10572078) | 4 |
| 國家自然科學(xué)基金(50275140) | 4 |
| 國家高技術(shù)研究發(fā)展計劃(2003AA404140) | 3 |
主要資助項目分析
| 資助項目 | 涉及文獻 |
| 國家自然科學(xué)基金 | 256 |
| 國家高技術(shù)研究發(fā)展計劃 | 65 |
| 國家重點基礎(chǔ)研究發(fā)展計劃 | 54 |
| 國家教育部博士點基金 | 17 |
| 國家重點實驗室開放基金 | 15 |
| 山東省自然科學(xué)基金 | 13 |
| 中國科學(xué)院知識創(chuàng)新工程 | 11 |
| 中國博士后科學(xué)基金 | 10 |
| 上海市自然科學(xué)基金 | 8 |
| 中國科學(xué)院知識創(chuàng)新工程重要方向項目 | 8 |
